矩形射频icp 离子束源天线设计.pdfVIP

第 27 卷 第 1 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.27, No.1 2 0 0 7 年 3 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics March 2007 文章编号：0254−6086(2007)01−0073−04 矩形射频 ICP 离子束源天线设计 苏志伟，陈庆川，韩大凯 (核工业西南物理研究院，成都 610041) 摘 要：为了更好地提高引出离子束的均匀性，对离子束刻蚀用矩形射频电感耦合等离子体（ICP）离子束 源提出了三种线圈的设计方法，并对这三种线圈激发的电场进行了数值计算和比较。结果表明，直线段式不等距 天线和并联多螺旋不等距天线线圈能够产生均匀性良好的电场，且其耦合效率高。 关键词：离子束源；电感耦合等离子体；天线 中图分类号：TL61+2 文献标识码：A 1 引言 2 ICP 离子束源的基本结构 随着国家在高新技术领域中大工程项目如 图 1 是本文设计的 RF ICP 离子束源的结构示 LAMOST 天文望远镜工程、同步辐射工程、激光 意图。该离子束源主要由放电室、射频天线、引出 核聚变工程的陆续开展，高精度光谱分析仪器的应 栅、射频电源和进气系统组成。放电室是矩形的； 用领域越来越广泛，对高衍射效率、大刻划面积全 射频发射天线放置在介质窗上，并通过匹配网络连 息及全息离子刻蚀光栅的需求量也在逐步加大[1] 。 接到射频电源上；引出栅由四极组成。当通过匹配 全息离子刻蚀光栅是用全息光栅做成全息掩膜板， 网络将射频功率加到天线时，天线中就有射频电流 然后利用离子束以一定的角度轰击刻蚀，从而得到 流过，于是产生感应磁场。根据法拉第感应定律， 具备不同槽形的全息离子刻蚀光栅，增强光栅的衍 感应磁场又在反应室中感应产生感应电场，反应室 射效率。离子束源的性能对全息离子刻蚀光栅的制 中的电子被此感应电场加速。这些被加速的电子不 作起着非常重要的作用[2] 。 断的与中性气体分子碰撞离化产生高密度的等离 射频电感耦合等离子体（RF ICP ）离子束源由 子体。同时，天线的能量被耦合到等离子体中以维 于其结构简单、能产生高密度的纯净等离子体、使 持等离子体放电。 用寿命长、以及性能价格比好等优点而受到人们的 青睐。另外，射频 ICP 离子束源具有较好的可扩展 性，可以通过优良的天线设计和其它改善等离子体 均匀性的手段获得更大更均匀的离子束加工面 积 [3~6] 。在过去的十年里，微细加工的发展推动了 新型 ICP 离子束源的发展，但要满足工业不断发展 的要求，满足刻蚀高性能全息离子刻蚀光栅的要 求，需要在大面积均匀等离子体的产生和线圈天线 与等离子体的高效耦合两个方面进行进一步的探 索。这两者与 ICP 离子束源天线的优化设计是分不 开的。 图 1 射频 ICP 离子束源结构示意图 收稿日期：2006−03−30 ；修订日期：2006−11−28 基金项目：国家自然科学基金资助项目） 作者简介：苏志伟(1981−) ，男，山西运城人，核工业西南物理研究院在读研究生，研究方向：大面积矩形射频 ICP 离 子束源泉。 74