集成霍尔传感器的发展 - 力拓科技.pdfVIP

OI :10.16086/ki.issn1000 -0380.2003.03.001 　 Development of Integrated Hall Transducer (北京市城市建设工程研究院, 北京　100029) 　　100 , 、、、, 、。。 　　　　　 Abstract　Firstly, the three phases of applicationof Halleffect in 100yearsare summarized.Then, the principle, structure,feature and application of variousin- tegratedHall elementsandHall transducers are introduced.Finally, the latest new quantum andplasma Hall transducers areexpounded.The developing trendand features of Hall transducersare also summarized. Key　words　Hall transducer　Integrated transducer　Hall effect　 eveloping trend 1　 2　 100 ,: 2.1　 20 40 1, 。,, ,,、 , 。 。, , V I B , , H ,1910 , d , V =k (I ·B /d ) 。,, H :V ;k (), 。 H 2040 V/AT。, ,、, , , , , , , 。 　　 、、、、 、、、、、、 、、, 。 20 60 , , 。20 80 , 图1　霍尔效应原理 ,, , 2.2　 、、。, 20 70 2 (bipolar) , ,, 1985 。, 。p [1～3] 。 2 n ,