太赫兹微加工波导滤波器terahertz micromachined - 电子与信息学报.pdfVIP

第 34 卷第 3 期 电 子 与 信 息 学 报 Vol.34No.3 2012 年 3 月 Journal of Electronics Information Technology Mar. 2012 太赫兹微加工波导滤波器 杜亦佳① 鲍景富*① 赵兴海② 郑英彬② ①(电子科技大学 成都 611731) ②(中国工程物理研究院电子工程研究所 绵阳 621900) 摘 要：该文提出应用微加工(Micromachining)技术设计制作太赫兹 6 阶并联电感耦合波导带通滤波器的方法。立 足于现有工艺条件，通过分析加工因素对滤波器电磁性能的影响，将工艺和设计参数相互折中达到优化设计的目的， 避免因工艺原因造成的器件性能急剧恶化，最终得到插入损耗小、可靠性好、可集成的太赫兹滤波器。采用微加工 深刻蚀(ICP)、溅射电镀金属、键合等工艺步骤，最终制作完成的单个微加工滤波器划片后体积为 24.0 mm ×5.0 mm ×1.66 mm。应用可调测试夹具固定微加工滤波器，通过功率计测试其功率衰减，得到其中心频率为 141.5 GHz, 3 dB 带宽为 10.6%，中心频率处功率衰减小于 1 dB，验证了工艺方法的有效性。 关键词：微加工技术；太赫兹器件；波导滤波器 中图分类号：TN713.5 文献标识码： A 文章编号：1009-5896(2012)03-0728-05 DOI: 10.3724/SP.J.1146.2011.00832 Terahertz Micromachined Waveguide Filter ① ① ② ② Du Yi-jia Bao Jing-fu Zhao Xing-hai Zheng Ying-bin ① (University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, China) ② (China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China) Abstract: This paper presents the method of designing and fabricating 6-pole TeraHertz (THz) iris band-pass filter by adopting micromachining technology. Based on the existing process conditions, through analyzing the influence of process factors on electromagnetic property of filters, the process and designing parameters are mutually compromised to avoid sharp deterioration of device performance due to process factors so that the design can be optimized, and ultimately the integratable THz filter