靶材报批稿 - 中国建筑玻璃与工业玻璃协会.docVIP

前 言 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国建筑用玻璃标准化技术委员会（SAC/TC255）归口。 本标准的附录A为资料性附录。 本标准主要起草单位：中国建筑玻璃与工业玻璃协会 上海贺利氏工业技术材料有限公司 贝卡尔特（江阴）镀膜工业有限公司 中国南玻集团股份有限公司 常州亚玛顿光伏玻璃有限公司 上海子创镀膜技术有限公司 北京安泰科技有限公司 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 北京星星原特种材料技术开发有限公司 本标准主要起草人：温艳玲 张佰恒 李 会 蔺裕平 许武毅 夏黎海 潘庆春 姜 海 赵子东 文宏福 林金锡 丁孝昌 镀膜玻璃用靶材 范围 本标准规定了靶材的要求、方法、检验规则标志、运输与存 本标准适用于靶材。 下列文件对于本文件的引用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 1031 产品几何技术规范GPS)　表面结构　轮廓法　表面粗糙度参数及其数 GB/T 4372 氧化锌化学分析方法 GB/T 4472-2011 化工产品密度、相对密度的测定 GB/T 4698 海绵钛、钛及钛合金分析方法 GB/T 4702 金属铬化学分析方法 GB/T 5163 烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料 密度、含油率和开孔率的测定 GB/T 6679-2003 固体化工产品采样通则 GB/T 7234 产品几何量技术规范（GPS）圆度测量　术语、定义及参 GB/T 8170-2008 数值修约规则 GB/T 12689 锌及锌合金化学分析方法 GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 GB/T 19591 纳米二氧化钛 GB/T 20510-2006 氧化铟锡靶材 GB/T 20967 无损检测 目视检测总则 GB/T 20975 铝及铝合金化学分析方法 GB/T 23364 高纯氧化铟化学分析方法 GB/T 25951.3 镍及镍合金 加工产品和铸件 YB/T 065 硅铝合金 YB/T 178 硅铝合金、硅铝钡合金化学分析方法 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 磁控溅射镀膜 magnetron sputtering coating 真空环境中，在电场及磁场的作用下，靶材被气体辉光放电产生的荷能离子轰击，粒子从其表面被溅射出，在镀膜基体表面沉积或反应成膜的工艺过程。 3.2 靶材 sputtering target 被高速荷能离子轰击的，可在镀膜基体表面沉积或反应成膜的固体材料。 3.3 靶材密度 target density 每单位体积靶材的质量，单位为克每立方厘米（g/cm3）。 3.4 靶材理论密度 target theoretical density 单一结构材料的理论密度为结晶学密度，合金或混合物靶材的理论密度通过各组元的理论密度及其在合金或混合物中所占比例计算得出，单位为克每立方厘米（g/cm3）。 3.5 靶材相对密度 target relative density 靶材密度与理论密度的比值。 3.6 失氧率 deoxygenation coefficient 氧化物靶材脱氧的百分率。 失氧率=（理论含氧量-实际含氧量）/理论含氧量×100% 3.7 熔铸靶材casting target 熔化后浇注入铸型中冷却成型，经后续加工制成的靶材。 3.8 喷涂靶材spraying target 将原材料加热至熔融或半熔融高塑性状态，在外加气体或焰流本身的推力下，雾化并高速喷射向衬管或衬板表面冷凝沉积制成的涂层靶材。 3.9 粉末冶金靶材 powder metallurgy target 将金属或非金属粉末成型、烧结，再加工制成的靶材。 3.10 粘结靶材 bonding target 利用低熔点金属或有机材料在衬管/衬板上粘结的靶材。 分类 4.1 按溅射面的形状，靶材可分为旋转靶材（柱状靶材）、平面靶材和异型靶材。 4.1.1 旋转靶材有直靶和骨状靶两种形状。 4.1.2 平面靶材包括矩形平面靶和圆形平面靶。 4.1.3 异型靶材为不规则溅射面的靶材。 4.2 按靶材的主要成分，可分为金属靶材和非金属靶材。其中，非金属靶材包括氧化物靶材和非氧化物靶材。 4.3 按靶材铸喷涂有衬管型无衬管型 5.1 化学成分 5.1.1 常用靶材的种类、纯度、主要成分、金属杂质元素含量和非金属杂质元素含量应符合表1的规定。 5.1.2 特殊成分的靶材由供需双方协商确定。 表 1 常用靶材的化学成分 靶材种类 纯度 主要成分wt%) 金属杂质元素含量，