icp 刻蚀技术研究 - 厦门大学学报（自然科学版）.pdfVIP

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2017-09-02 发布于天津
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icp 刻蚀技术研究 - 厦门大学学报（自然科学版）.pdf

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icp 刻蚀技术研究 - 厦门大学学报（自然科学版）

43 厦门大学学报( 自然科学版) Vol. 43 Sup. 2004 8 Journal of Xiamen University ( Natural Science) Au . 2004 : 0438-0479( 2004) S-365-04 ICP 1 2 2 郑志霞 , 冯勇建 , 张春权 ( 1. , 2. , 36 1005) ( ICP) , SF , : 6 Si SiO . , RF SF 2 1 6 , , RF , 1. 2 Pa , 2 , , Si , . : ; ; : T N 405 : A ( MEM S) , , 1 , , . MEM S . , M EMS , , . , . , , . , , Si . . SiO : 2 * 4F + Si vSiF x ( 1) 4 ( RIE) ( ICP) . * 4F + SiO v SiF x + O x ( 2) 2 4 2 . ICP , , MEMS , . . ICP , , , , . , . SF