激光干涉仪的镭射使用校验操作方式.pdfVIP

API 激光干涉仪直线轴使用校验操作方法 二、FANUC Oi 系列 CNC 数控系统定位精度误差补偿 2.1螺距误差及反向间隙补偿参数介绍： 直线轴的数控精度补偿必须设定的参数有： （1） No.1320 各轴的正向软限位。 （2） No.1321 各轴的负向软限位。 （3） No.1800 ＃4 切削进给和快速进给是否分别进行反向间隙补偿，0：否、 1：是。 （4） No.1851 各轴的切削进给反向间隙补偿量，单位μ m。 （5） No.1852 各轴的快速进给反向间隙补偿量，单位μ m。 （6） No.3620 各轴参考点的螺距误差补偿号码，范围：0～1023。 （7） No.3621 各轴负方向最远端的螺距误差补偿号码，范围：0～1023。 （8） No.3622 各轴正方向最远端的螺距误差补偿号码，范围：0～1023。 （9） No.3623 各轴螺距误差补偿倍率，范围：0～100。①注释：存在不规律 现象，视设备出厂设置倍率为一倍，除去被厂商锁定的情况，下文会针对 常见数设备倍率的选择做出解释。 （10） No.3624 各轴螺距误差补偿点的间距，即螺距，范围：0 （11） No.8135 ＃0 NPE 使用存储型螺距误差补偿，此参数可以屏蔽螺距误差 功能 2.2补偿前的准备工作： （1）查看上述所介绍的参数，用以确定机台螺距误差补偿的地址及所需测量的 各轴的行程、螺距（数据采样的位置间隔），通过所需测量的行程与螺距来确定 所需要采样的点数。 （2）导入测试时使用的自动采样数据程式，需要对机床进行预热，使机床达到 正常使用的热平衡状态。②注释：不同螺距，不同行程的机台自动数据采样程式 时是存在区别的，但大同小异，下文会通过实例进行阐述。 （3）确定伺服电机位置环增益XYZ 各轴是否相同（参数1825），β i 系列电机 一般情况下3000 左右，α i 系列电机一般5000 左右。 （4）对激光干涉进行预热。激光干涉在进行预热状态时，激光会不间断的闪烁。 通过RJ45 网络通讯协议，与PC 链接好后，PC 此时会显示未就绪来提示，当激 光干涉预热完成后，激光停止闪烁,PC页面提示路径错误，此时激光干涉仪预热 完成。 （5）架设干涉仪镜组架。 通过大丸RM600 立式加工中心实例程式做以下解释。 O0001 主程序名 G28G0X0. 返回X轴参考点 G91 采用增量方式进给 1 SUNTONG 2015.08 G4X1. 暂停1秒 G0X2.0 正方向越程2毫米 G4X1. 暂停1秒 G0X-2. 返回2毫米，此为消除起步时的反向间隙 G4X4. 暂停4秒，开始第一点采样 M98P02L25 调用子程序2号程式，调用25次 G91 采用增量方式进给 G0X-2. 负方向越程2毫米 G4X1. 暂停1秒 G0X2. 返回2毫米 G4X4. 暂停4秒 M98P03L25 调用子程序2号程式，调用25次 M99 返回程序 O0002 子程序名 G91 采用增量方式进