大气压电离质谱及其用于超高纯气体分析的研究进展-岩矿测试.PDF

２０１４年１２月 岩　矿　测　试 Ｖｏｌ．３３，Ｎｏ．６ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ２０１４ ＲＯＣＫＡＮＤＭＩＮＥＲＡＬＡＮＡＬＹＳＩＳ ７７５～７８１ 文章编号：０２５４ ５３５７（２０１４）０６ ０７７５ ０７ 大气压电离质谱及其用于超高纯气体分析的研究进展  张体强，胡树国 ，韩　桥 （中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：超高纯气体在工业生产中有非常重要的地位，如半导体工 业中电子气的质量直接影响半导体器件的性能，百万分之几的微 量杂质气体便可导致集成电路中元件存储信息量的减少。越来 越高的气体纯度要求对分析方法及仪器的灵敏度提出了很大的 挑战。大气压电离质谱（ＡＰＩＭＳ）由于可以在大气压条件下对杂 质进行电离，并伴随高效的电离方式，因此具有极高的灵敏度，成 为超高纯气体杂质分析中极为有效的技术手段，特别适合检测 －９ －１２ ６３ １０ ｍｏｌ／ｍｏｌ甚至１０ ｍｏｌ／ｍｏｌ浓度量级的气体杂质。ＡＰＩＭＳ采用电晕放电及 Ｎｉ两种电离源，通常以电 晕放电电离源为主，质量分析器常采用四极杆，同时为适应超高纯气体分析，ＡＰＩＭＳ配备了气体进样系统及 可将标准气体稀释产生校正气体的稀释系统。ＡＰＩＭＳ对杂质检测的灵敏度与杂质的电离方式密切相关，电 荷传递是杂质电离最主要的一种方式，适用于电离能相差较大的底气与杂质，常见的Ｎ、Ａｒ由于电离能较 ２ 高，其中的大部分杂质均可依靠该方式测定；质子转移反应的应用通常与 Ｈ 有关，常用于Ｈ 中杂质的测 ２ ２ 定，也可以通过添加Ｈ 的方法促进对Ａｒ中Ｎ 杂质的检测；运用形成团簇离子的反应尽管较少，但亦有报 ２ ２ ＋ 道，通过监测团簇离子Ｏ ·ＨＯ，可提高Ｏ 中杂质ＨＯ的检测灵敏度。依据不同的电离反应，可以设计对 ２ ２ ２ ２ 不同杂质的测定方式，实现对痕量、超痕量杂质的检测。ＡＰＩＭＳ检测灵敏度通常比电子轰击电离质谱（ＥＩ／ ４ ６ ＭＳ）高１０～１０倍，因此目前依然是超高纯气体分析中不可替代的仪器方法，但在某些方面如对有腐蚀性 电子特气的分析，方法灵敏度有待提高。 关键词：大气压电离质谱；电荷传递；质子转移反应；超高纯气体分析；研究进展 中图分类号：Ｏ６５９．６３ 文献识别码：Ａ 高灵敏度、高选择性及高速分析的特点一直是 大气压电离质谱（ＡＰＩＭＳ）。 ［１］ ２０世纪７０年代，出现第一台商业化的大气压 质谱分析的优势 ，质谱技术已被广泛应用于化 ［２］ 学、生物、刑侦、航天、化工、医药、食品安全、环境保 电离质谱 。经过数年的研究，可在大气压下电离 护等多个领域。在半导体工业中，质谱亦有非常重 工作的质谱有了很大的发展，用于分析的样品除了 要的用途。高纯、超高纯气体在半导体器件生产中 纯物质外，复杂基体的样品也可以用于直接分 有着极其重要的地位，既作为保护气又充当原材料， 析［３－７］，大气压电离质谱的范畴有了很大的延展，但 且气体纯度随着半导体工业的发展要求越来越高， 在气体纯度分析领域，依然习惯沿用传统的称谓即 即杂质含量越来越低。为此，质谱技术在大型半导 大气压电离（ＡＰＩ）质谱。受益于半导体工业的高速 体生产工厂几乎成为最重要的可以用来对超高纯气 发展，ＡＰＩＭＳ的分析能力得以充分的挖掘。尤其是 体杂质进行有效监测的仪器设备，这种质谱技术即 上世纪９０年代前后，国外针对 ＡＰＩＭＳ的气体纯度