汽车MEMS 传感器的应用及发展.PDF

技 术 综 述 Technology Review 汽车MEMS传感器 的 应用 及 发展 吴雄 □ 一、引言 摘要：本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器 MEMS 是在集成电路生产 的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时 对该领域的产业化也进行了探讨。 技术和专用的微机电加工方法 关键词：汽车传感器、微机电系统、力敏器件。 的基础上蓬勃发展起来的高新 科技，其研究开发主要集中在微 二、压力传感器 作许多个力敏芯片，易于批量生 传感器、微执行器和微系统三个 汽车电子控制系统一直被 产，力敏芯片受温度影响性能采 方面，目前主导 MEMS 市场的 认为是 MEMS 压力传感器的主 用调理电路补偿。 传感器已形成产业。用此技术研 要应用领域之一，可用于测量进 汽车用压力传感器被称为是 制的五花八门的微传感器具有 气歧管压、大气压、油压、轮胎 军品的质量、民品的价格。其环 体积小、质量轻、响应快、灵敏 气压等，表1 示出一些主要用途。 境实验要求是极为严格的（表2 ）。 度高、易生产、成本低的优势， 最流行的汽车 MEMS 压力 封装好的传感器通过严格的环境 可以测量各种物理量、化学量及 传感器采用压阻式力敏原理，这 测 试 后 ， 一 般 能 保 证 生物量。在市场引导、科技推动、 是现有几种力敏传感器中用量 0.1%~0.3%F.S.的稳定性，即使经 风险投资、政府介入等多重作用 最大的一种，开发出几代产品， 受最严格的长时间测试，仍能维 下，汽车 MEMS 传感器发展迅 年产量为数千万只。这种传感器 持 1%F.S.的稳定性。信号调理电 速，现已成为相关部门争先投资 用单晶硅作材料，以 MEMS 技 路和标定及封装也是生产中的极 开发的热点。在高档汽车中，大 术在材料中间制作成力敏膜片， 其关键技术，科技含量超过力敏 约采用25 至40 只MEMS 传感 然后在膜片上扩散杂质形成4 只 芯片的制作。例如，测量燃油喷 器，技术上日趋成熟完善，可满 应变电阻，再以惠斯顿电桥方式 射的压力传感器长期与液态燃料 足汽车环境苛刻、可靠性高、精 将应变电阻连接成电路，来获得 接触，并承受高压，组装固定和 度准确、成本低的要求，极大地 高灵敏度，其输出大多为 0~5V 安装尺寸的设计，涉及到大量的 推动了电子技术在汽车上的应 模拟量，测量范围取决于力敏膜 结构分析、机械应力测试、介质 用。 片的厚度，一枚晶片上可同时制 暴露测试、电路修正等技术。 传感器世界 7 20