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ESD Control ESD控制 ESD控制 离子化 对绝缘材料接地并不能消除所带的静电,要消除所带的静电需要使用离子风机。离子风机的作用是在局部形成离子平衡的环境,它产生的离子可以在较短的时间内中和目标物体上多余的电荷。 风扇很脏不但有Contamination 的问题,影响离子产生,同时由于有大量 Particle 存在,反而会带来ESD 问题。--应定期(每周)用IPA对风扇和发射针进行清洁。(工程部/设施部执行,QA核查) 有维护标签,一要定期对风机校准,二要定期进行清洁维护。 指示灯亮(表示在工作),应打到60%最大风速。 高度18-24 Inch 产品区域 Page 19 ESD Control ESD控制 ESD控制应该做到 1) 在ESD安全的工位处理对ESD敏感产品。 2) 在处理对ESD敏感产品之前戴上腕带,防静电手套。 3) 对所有金属设备和工具进行接地处理。 4) 让ESD敏感产品与绝缘材料最少保持12英寸(约30公分)的距离。 (如果对产品进行了保护如:产品放在ESD包内,放在 盖上盖子的ESD 安全 物料盒内;如果对绝缘材料进行了屏蔽或使用了离子风机,ESD敏感产品与 绝缘材料之间不受这个距离的限制。) 5) 总是保持工作区域干净整洁,拿走不必要的物料,特别是拿走不是生产必需 的普通塑料制品,纸制品及个人物品。 6) 对ESD敏感产品可能接触的设备部件, 测量设备接地,确保牢固有效安全。 7) 不要用金属物体接触对ESD敏感产品的暴露的输入电路,减少对ESD敏感产 品不必要的接触。 8) 服从ESD敏感区域,ESD安全纪律要求。 9) 如果你对ESD有不清楚的可以联系本地ESD控制部门。 Page 20 ESD Control ESD控制 ESD公式 Q + M = ESD “Q” : 在产品或零部件,工具或其它物体(包括人体)上的 静电荷 (通常是由于摩擦或者是静电感应产生的) “M” : 与产品或零部件暴露的输入电路进行小电阻的金属联接。 “ESD” : 短时间内的大电流损坏产品或零部件,造成 ESD损坏 没有金属联接: Q + M = ESD 没有ESD损坏 没有静电荷 : Q + M = ESD 没有ESD损坏 没有静电荷和没有金属联接: Q + M = ESD 没有ESD损坏 用这个公式来帮我们理解如何解决ESD问题 Page 21 ESD Control ESD控制 ESD公式 消除金属联接(M): Q + M = NO ESD 避免金属联接的方法: 设计工具,使暴露的电路不能接触工具的金属表面 在工具的表面使用ESD消耗材料(ESD垫子等) 暴露的电路 好 好 不好 Page 22 ESD Control ESD控制 ESD公式 为导体进行可靠的接地(对固定金属导体:接地电阻 10 ohms ,对移动导 体,ESD材料或不可以接地的导体:接地电阻 1X10^9 欧姆。) 减少或消除摩擦、撕粘胶带等等所有可以产生静电的操作。 如有必要,使用离子风机消除绝缘材料上的静电。 从工位上拿走不是生产必须的绝缘材料。 对于生产工艺必须的绝缘材料和ESD敏感的产品,保持安全距离(12英寸 以上)。 减少或消除静电荷 (Q): Q + M = NO ESD Page 23 ESD Control ESD控制 ESD公式 很多人首先试着只是控制 Q ( 静电荷 ) 但消除M ( 金属联接 ) 通常是最廉价的,最容易的,从长期来说也 是最有效的解决办法。 聪明的做法是把控制 Q ( 静电荷 ) 和消除M ( 金属联接 ) 结合起来 这取决于在每个工艺过程中哪一种方法最容易,最廉价。 你必须不断改善和优化你的工艺过程,否则ESD的问题将继续困 惑着你! Q + M = ESD Page 24 ESD Control ESD控制 电子元器件与 鸡蛋 – ESD 控制思路 电子元器件就像鸡蛋,电子元器件对ESD十分敏感就像鸡蛋从高处落下很容易摔坏。 电子元器件带有静电就像一个被举高的鸡蛋 不是高度摔破了鸡蛋,而是高度的突然改变(摔下鸡蛋)摔破了鸡蛋。 不是高的静电电压损坏了电子元器件,而是静电电压的突然改变损坏电子元器件。 金属联接造成的静电电压的突然改变等同从高处摔下鸡蛋。 如果超过
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