真空镀膜机开关机方法20110823概要1.ppt

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真空镀膜机开关机方法20110823概要1

# Thanks! 模具設備維護三部 製作 SHZBG-iPGM設備維護 AS和AR真空鍍膜機開關機方法 一.AS和AR鍍膜機開機步驟1 AS和AR鍍膜機在機台主操作面板位置紅色總電源開關處,從“OFF”狀態順時針方向擰向右邊“ON”后,電源指示燈亮,開機正常。 一.AS和AR鍍膜機開機步驟2 AS鍍膜機後面機械手控制電櫃。開機時將電源開關從綠色順時針方向擰向紅色“ON”位置,這時黃色電源指示燈亮,總電源開機正常(AR鍍膜機只有前面一個電櫃)。 一.AS和AR鍍膜機開機步驟3 鬆開紅色急停開關。右手按住左邊POWER位置”ON”鍵,按鍵啟動正常時鍵背光燈會亮。 一.AS和AR鍍膜機開機步驟4 鍍膜機剛啟動時會有報警聲,這時用手指點動面板“RESET”鍵進行自動恢復。如果能夠消除報警就為假報警,不能消除報警可能是真報警。例如:冷卻水異常;IB(離子源)啟動異常;原點復歸異常等。 一.AS和AR鍍膜機開機步驟5 3分鐘左右時間機台面板啟動到正常顯示畫面時。用手指點擊面板“啟動”字樣。正常確認時字塊背景會由灰色變為綠色,60分鐘左右時間機台進行自動預熱啟動中。啟動正常時面板RP泵,MBP泵和DP泵指示變綠色時,設備才可以開倉裝料工作。 二.AS和AR鍍膜機關機步驟1 機台停機時,先點擊主電櫃面板 “自動停止”字樣。正常時自動停止字樣會由灰色底變為綠色底字樣。此時機台會進行自動停機過程中。時間大約30分鐘左右。自動停機動作完成時,機台面板RP泵,MBP泵,DP泵,FV和MV閥位置會變成紅色底字樣時,可以確認機台自動停機動作完成。 二.AS和AR鍍膜機關機步驟2 使用手指點擊機台主電櫃POWER字樣下的“OFF”鍵。此時機台會自動關閉控制回路。正常時機台顯示屏幕會關閉。 二.AS和AR鍍膜機關機步驟3 AS鍍膜機需先將機台電櫃總電源開關逆時針方向,從ON位置擰向OFF位置,并確認電源關閉。 二.AS和AR鍍膜機關機步驟4 AS和AR鍍膜機需將機台主電櫃總電源開關逆時針方向,從ON位置擰向OFF位置,并確認電源關閉。 二.AS和AR鍍膜機關機步驟5 備註:EB(電子槍)控制器在主機正常開關機時,控制器Key一直向Remote(遠程)位置,急停開關不能壓住。 Key 急停開關 * * * *

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