固体材料的测试与分析.ppt

场离子显微镜(FIM) 工作原理：中性的惰性气体分子以原子尺度靠近带几千伏特正电压的固体针尖时，电子很可能从惰性气体分子隧穿至固体，从而产生一个阳离子。阳离子被电场加速打到接收器上，再放出大量的电子打到荧屏上产生亮点，同时能看到一颗颗原子影象。 （可以通过电化学刻蚀制作半径约50nm的针尖，并在针尖和荧光屏之间加约5kV的电压。利用氦、氖等惰性气体产生的离化） 用处：研究吸附原子或空位、间隙原子等点缺陷以及位错、晶界这样的扩展缺陷。 扫描电子显微术(SEM) 工作原理：电子束被聚成细针状并在小矩形面积上扫描。当电子束与样品相互作用时产生各种各样的信号，如二次电子、内电流、光子发射等，这些信号可以被探测，它们反映了被电子束直接照射的面积上的局域信息。利用这些信号调制阴极射线管的亮度，它是与电子束同步的屏面扫描并同步成像。 用处：当需要对某种材料进行快速观测而光学显微镜的分辨精度又不够时，扫描电子显微镜是首选仪器。配合其他辅助探测器，扫描电子显微镜可以作元素分析。 扫描隧道显微镜和原子力显微镜(STM／AFM) 工作原理：固体样品可置于空气、液体或真空中，针尖到样品表面只有几埃。对于扫描隧道显微镜来说，在样品表面和针尖之间有量子隧道电流。原子力显微镜，样品表面的原子与针尖原子的相互作用力使得一个小悬臂发生偏转。由于隧道电流和悬臂偏转的大小强烈地依赖于样品与针尖的间距，它可以用