高分辨率原位环境透射电镜的发展及应用.pdfVIP

第29卷第3期 电子显微学报 Vol-29，No．3 2010年6月 ofChineseElectron 20lO—06 Journal MicroscopySociety 文章编号：1000-6281(2010)03-0287-08 高分辨率原位环境透射电镜的发展与应用 章效锋 Franklin (美国日立高科技公司，5100 Dr．，Pleasanton，California94588，USA) 擒要：材料受周围环境的影响而产生的结构或成分变化一直都是材料科学和工业研发领域最关注的方向之一。 随着材料研究的纳米化，外场导致的材料在亚纳米或原子尺度上的结构变化越来越成为认知材料宏观和纳米材料 特性之根本。在诸如纳米催化荆的催化机制．材料的氧化一还原机制，纳米材料的生长或受力形变，电、磁场对材 料纳米尺度结构的影响及徼量气体探测等很多研究中有许多问题都需要一种特殊的电子显微镜即高分辨率原位 环境电镜来帮助寻求答案。本文简要地回顾了环境透射电镜技术的发展思路，对于现代气体环境透射电镜的主流 技术作了初步介绍，特别强调了高分辨率环境电镜的重要性以及在环境电镜中实现高分辨率所需要关注的一些技 术环节，并力图通过具体实验实例使读者充分了解高分辨率原位环境电镜在材料科学研究中的重要性。 关键词：原位环境透射电镜；高分辨率；材料动态结构变化 中图分类号：TNl6；TGll5．21+5．3文献标识码：A 透射电镜开发之初，人们对电子显微镜这一新 代科学研究中的很多要求，人们需要在对一些材料 生事物的最大期望主要有三个方面：超过光镜的分 进行微结构观察的同时在样品周围能够施加某种外 辨率，良好的成像衬度及生物活体显微观察…。经 场如热场、冷场、电场、磁场、和力场等等。在外加场 过近80年的电镜技术开发，人们已经成功地把透射 存在的情况下利用电镜观察结构和化学组成对外场 电镜的分辨率从最初的50am左右推进到了0．05作用的动态反应，这就是现在越来越受到重视的原 nm，提高了1000倍之多。在高衬度成像方面，也通 位电子显微术。 过改变电子柬加速电压、物镜光阑尺寸、物镜焦距及 从技术角度考虑，热场和冷场的引入比较容易。 最近的相位板技术等基本解决了对碳、氢、氧等轻元 例如，如果在透射电镜样品台安置样品的区域安装 素为主要构成元素的生物和分子聚合物材料的高衬 上加热丝就可以对电镜中的样品进行加热了。原位 度成像问题。 加热透射电镜技术至少在上世纪60年代就有人开 与在高分辨和高衬度成像两方面所取得的广泛 始尝试了，80年代开始有较快的进展，现在已经发 进展相比，对生物活体的电镜观察还远未能够在电 展成熟到了商品化的阶段。目前大部分的原位加热 镜中彻底实现。其中的一个主要原因是电镜的整个 电镜技术仍然只局限于在电镜的真空中对样品进行 光路系统需要在高真空中运行，电镜样品室真空度 加热并观察，因此不能用来研究很多与实际应用密 一般是10。3到10一帕斯卡。生物样品的活性依赖切相关的课题，例如催化剂的催化机制或材料的氧 于自身和周围环境中存在的水分和生物液体，而液 化一还原过程。因为在这类实际应用中不仅需要对 体环境在电镜中却是不易实现的。近些年来，原位 材料进行加热，还需要使样品处于一定的气体氛围 液体环境透射电镜技术正越来越受到重视，在这方 里。往透射电镜的样品室中引入气体在过去的很长 面的努力已经取得了一些成果。而这些技术上的进 一段时间里一直是个技术难题。在没有一个很好的 步其实是得益于过去30年的关于原位电镜技术的 直接解决