楔形平板产生的等厚干涉.pptVIP

(2).测量微小物体的厚度 (3). 测量微小角度. (4) 测量微小位移 ［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？ * 三、楔形平板产生的等厚干涉 两个不平行平面的分振幅干涉，称为楔形平板的干涉。 （一）定域面及定域深度 楔形平板干涉条纹定域面的位置，也由 的条件确定，由于平板的两个表面之间有一个夹角，定域面与楔板相对于扩展光源的位置有关。见书P226 等厚干涉：平行光入射非均匀薄膜，i相同，对于不同的薄膜厚度e产生不同的干涉条纹， 这种干涉叫等厚干涉 。 实际中，扩展光源并非无穷大， 干涉条纹不只局限在定域面，在定域面附近也可以看到干涉条纹，这一定的区域深度为定域深度。 定域深度以外的区域看不到干涉条纹。 （二）楔板产生的等厚条纹 从光源S中心发出经楔板上下表面反射的两支光交于定域面上某点P，这两支相干光在P点产生的光程差为 精确计算较困难，近似用平行平板的光程差公式来代替 若照明平行光垂直入射楔板， 若楔板折射率处处均匀，干涉条纹与等厚度的轨迹相对应，这种条纹称为等厚条纹。 亮纹 暗纹 从以上亮纹或暗纹公式易导出，从一个条纹过渡到另