爪型干式真空泵.doc

爪型干式真空泵 说明书 目 录 1 爪型干式真空泵概述及特点 2 2 爪型干式真空泵性能参数 3 3 安装说明 6 4 使用方法 6 5 保养维护 7 6 注意事项 7 7 随机文件（见装箱单） 9 说明：爪型干式真空泵是一种高精密的机器，尽管它的各项技术性能经各行业用户长期使用证明：在正常使用下能确保长期可靠的工作，并且维护成本低。但是，如果使用和维护不当，将导致严重的损坏。故此我们恳请用户：使用前请仔细阅读本说明书。 1 爪型干式真空泵概述及特点 1.1 爪型干式真空泵概述 爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。 爪型干式真空泵被广泛应用与半导体、光学器件、化工、核工业、薄膜、仪器、医药、生物制药和食品等领域。 1.2 爪型干式真空泵的特点 泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染； 真空度高，可达3Pa； 结构简单，易于操作和维护，运行成本低； 能在较高压力下长期连续工作，噪声小； 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃的气体和可凝性气体（例如水蒸气、有机气体等）； 能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105； 转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用寿命长。 2 爪型干式真空泵性能参数 2.1 2ZBW系列性能参数 表一：2ZBW系列爪型干式真空泵性能参数 型号 2ZBW-4S 2ZBW-8S 2ZBW-15S 2ZBW-30S 2ZBW-70S 2ZBW-150S 极限压力Pa 1000 1000 1000 1000 1000 1000 抽气速率L/s 4 8 15 30 70 150 输入电压V 380 380 380 380 380 380 电机功率Kw 1.1 1.5 4 5.5 11 22 电机转速r/min 1450 2800 1450 2800 2800 2800 进/排气口径mm 25 25 65 65 80 100 冷却水温度℃ ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 环境温度℃ 0-40 0-40 0-40 0-40 0-40 0-40 噪音dB 68 68 70 70 82 86 * 噪声等级为排气口通向室外，进气口关闭下所测得； 可选配件：聚四氟乙烯涂层（防腐型价格上浮5%） 变频器，小车，消音器，真空表，真空计，电磁阀。 图1：2ZBW系列爪型干式真空泵抽速压力曲线图 2.2 4ZBW系列性能参数 表二：4ZBW系列爪型干式真空泵性能参数 型号 4ZBW-4S 4ZBW-8S 4ZBW-15S 4ZBW-30S 4ZBW-70S 极限压力Pa 3 3 3 3 3 抽气速率L/s 4 8 15 30 70 输入电压V 380 380 380 380 380 电机功率Kw 1.1 1.5 4 5.5 11 电机转速r/min 1450 2800 1450 2800 2800 进/排气口径mm 25 25 65 65 80 冷却水温度℃ ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 冷却水耗L/hr 200 200 250 300 400 环境温度℃ 0-40 0-40 0-40 0-40 0-40 噪音dB 68 68 70 70 82 * 噪声等级为排气口通向室外，进气口关闭下所测得； 可选配件：聚四氟乙烯涂层（防腐型价格上浮5%） 变频器，小车，消音器，真空表，真空计，电磁阀。 图2：4ZBW系列爪型干式真空泵抽速压力曲线图 2.3 ZBL系列性能参数 表三： ZBL系列爪型干式真空泵性能参数 型号 2ZBL-15S 2ZBL-30S 2ZBL-70S 4ZBL-15S 4ZBL-30S 4ZBL-70S 极限压力Pa 1000 1000 1000 3 3 3 抽气速率L/s 15 30 70 15 30 70 输入电压V 380 380 380 380 380 380 电机功率Kw 4 5.5 11 4 5.5 11 电机转速r/min 1450 2800 2800 1450 2800 2800 进/排气口径mm 65 65 80 65 65 80 冷却水温度℃ ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 ＜35 冷却水耗L/hr 250 300 400 250 300 400 环境温度℃ 0-40 0-40 0-40 0-40 0-40 0-40 噪音dB 70 70 82 70 70 82 * 噪声等级为排气口通向室外，进气口关闭下所测得； 可选配件：聚四氟乙烯涂层