微纳米检测技术— 0.pptVIP

MEMS/NEMS LAB 微/纳米系统实验室 微/纳米系统实验室 MEMS/NEMS LAB 研究生课程：微纳米检测技术 机电学院 西北工业大学 邓进军 李晓莹 峭育伴寺掏扼引盛迈旅磐蓄就润透肤雹认红汪谍瘸萍刽处稻惧痊师梢俄赏微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 教材与参考书目 教材： 《微纳米测量技术》，王伯雄等编著，清华大学出版社，2006 参考书目： 《纳米科学与技术》，袁哲俊编著，哈尔滨工业大学出版社，2005 《微机电系统设计与制造》，莫锦秋等编著，化学工业出版社，2004 《微系统原理与技术》，傅建中等编著，机械工业出版社，2005 《检测技术与系统》，陈岭丽主编，清华大学出版社，2005 《传感器与测试技术》，李晓莹主编，高等教育出版社，2004 《机电工程智能检测技术与系统》，朱名铨等编著，高等教育出版社，2002 汉佯颈芜抵乖眼害瑰芜大目牢殉兜涂警战屡涅煌鹅莽护凶簧丙酒涡留街螟微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 第一讲 绪论 微纳米尺度 微米：1μm ＝ 10-6m 纳米：1nm ＝ 10-9m 氧封塌丘疙据啼牙胳抠越慌弦劈舟儒锥仲易今咨付倾摔湿艘遏坝褥影口迂微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 概述 微纳米技术 21世纪最重要的科学技术之一；将引起一场新的工业革命。 微纳米检测技术是微纳米技术的重要组成部分 微纳米技术－研究微观尺度的物体和现象； 微纳米检测技术也主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术。 篙释味论掠忍偿些蜒火诈篇谷爪吮履期苞驳皇搔槽挥林绊剪讥尸痴估浩占微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 1.1 测量和测量系统 测量： 测量提供了有关物理变量和过程的现实状态的定量信息。 测量是对客观世界重新认识的工具，也是对任何理论和设计的最终检验。 测量是一切研究、设计和开发的基础，它的作用在工程中十分显著。 测量系统 由敏感元件（传感器）、信号转换和调理、信号记录和显示等部分组成。 扯晕别避柜隔兵锈着豺抑惨瞩倚佐贩撮钮生暖厢商验钞陀撅建裂纺沫紫始微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 几个概念 测量(measurement):以确定被测对象的量值为目的的全部操作。 计量(Metrology):与标准进行比较和衡量 or 实现测量单位统一和量值准确传递。 测试(test):试验性质的测量 or 测量和试验的综合。 在实际使用中往往不严格区分测试与测量 检测(detection):获取被测对象的真实信息（从客观事务中取得有关信息的过程）。检测是意义更为广泛的测量。检测＝测量+信号检出。 庶瞎块玻遇潮载顺绣紊锹樱舰夜疗泛绷向纂嘻每稚肮亲死礁偷探茬悦屿俏微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 1.2 微纳米技术 什么叫微纳米技术 通过在微纳米尺度范围内对物质的控制来创造并使用新的材料、装置和系统。 微纳米材料 微纳米装置（器件） 微纳米系统 1999年12月，美国国家科学技术委员会在“微纳米技术研究指南”工作报告中指出：“微纳米科学和工程将在未来的10～20年内成为一种战略性、占主导地位的技术，因为对微尺度物质的控制将支持工业、经济、健康和环境管理、生活质量以及国防等方面的发明和进步”。报告结论是：“微纳米技术将导致下一次工业革命。” 德国将微纳米技术和微系统技术列入国家高科技重点发展领域。 挽抵享耕朱趾捞皑良篇缠捻上戏阅侧屯檀矗象德机菏在宛召瓜漓焕战秉必微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 1.2 微纳米技术 我国从20世纪80年代末开始从事微纳米技术的研究。 2001年，政府制定《国家纳米科技发展纲要》； 目前：国家科技部“863计划”专门设立有微纳米技术专项，国家自然科学基金也设立有关微纳米技术重大科研基金项目。 突砒雾智尼奏芍糯潜猫镣练蝉噪澄询坚庚渣银佑痴拟躲箱甜曼豆鸭荫颖迹微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 1.3 微机电系统技术 微机电系统（Micro-electro-mechanical system, MEMS）技术，微系统技术 起源于微电子技术； 将传感器、信号处理器和执行器以微型化的结构形式集成为一个完整的系统。 微机械在美国常被称作微型机电系统（micro electro mechanical system, MEMS)； 在日本被称作微机器（micromachine)； 欧洲则被称作微系统（microsystem)； 不同的名称表明强调不同的技术重点。 秧利菊稼街孵倔兔痛澳巍死披蒂逮变恭题怀镜阔啮瞎狱葡瘁儿猴郸疗楞每微纳米检测技术— 0微纳米检测技术— 0 1.3 微机电系统技术 1、MEMS的形成基础 机械电子学——机械学、电子学、计算机技术交叉 ME