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JUNE.2002 JUNE.2002 静电放电(ESD) 简介 静电放电（ESD）就是不同电位的两个物体之间产生的电荷快速流动的现象，简而言之即电荷的快速中和 。 静电电荷会不断积累，直到造成电荷产生的作用停止、电荷被泄放或者达到足够的强度可以击穿周围物质为止。电介质被击穿后，静电电荷会很快得到平衡，这种电荷的快速中和就称为静电放电。 静电是怎样产生的？ 我们知道所有的物质都由原子构成，原子中有电子和质子。当物质获得或失去电子时，它将失去电平衡而变成带负电或正电，正电荷或负电荷在材料表面上积累就会使物体带上静电。电荷积累通常因材料互相接触分离而产生，也可由摩擦引起，称为摩擦起电。 有许多因素会影响电荷的积累，包括接触压力、摩擦系数和分离速度等。 静电的危害 ESD对半导体元件的损害可能是当今半导体界最为头痛，也是最重要的一个问题，其造成的破坏也是不易被觉察的。 由于静电在很小的电阻上快速泄放电压，泄放电流会很大，可能超过20安培，如果这种放电通过集成电路或其他静电敏感元件进行，这么大的电流将对设计为仅导通微安或毫安级电流的电路造成严重损害。 ESD 影響電子系統的四種基本模式 ESD 電流直接貫穿系統較弱部份並且造成系統混亂或損害 藉由靜電電場感應而造成系統混亂 ESD 電流流經系統接地線路影響而造成系統混亂或損害 ESD 發生時產生的高頻電磁場因耦合而造成系統混亂 ESD 引起的失效模式 直接損壞線路元件並使線路故障失去功能 消弱線路元件功能並在一段時間後失去功能 (潛在失效) 為什麼要作ESD 控制? 避免灰塵吸附 減低元件被破壞 減少產品失效或運作不穩定 避免人員受傷 預防火災或爆炸發生 每年因靜電不當釋放所造成損失高達數十億美金以上 常用静电使用设备 Electrostatic Voltmeters/fieldmeters : 静电表 Digital OHM Meter : 数字欧姆表 Air Ionizer : 离子风扇 Wrist strap or Foot Strap (Optional) : 静电手环或脚环 Conductive Bag Antistatic Magazine : 导电袋及抗静电管 Caution Label : 提醒标签 Anti-Static Void Filler :抗静电泡垫 Dissipative Table/Floor MAT (Optional) : 静电地毯或桌垫 Esd protected work station : 无静电工作桌 Caution Sign : 提醒看板 ESD Protective Shoes Tester : 静电鞋测试器 数位欧姆表 三用電錶或直流電阻表應可量測 0.1 歐姆到 1 M 歐姆 +/-10% 範圍的電阻,且開路電壓應大 於1.5 V 以上. 离子风扇 工作時必須置於距離離子風扇4英尺圓弧內, 兩邊各近似45度角範圍內.且方向正對著工作區域 任何靜電敏感的材料放於工作台之前, 必須把離子風扇先打開,而且中途不可關掉. 靜電手環或腳環 靜電環必須有 1 M 歐姆+/-10% 的電阻連接到導電或靜電傳導的工作桌面. 若因此使得靜電環與接地間形成2M 歐姆 +/- 10% 之電阻是可接受的.靜電環的工作電阻必須以如下的迴路每班檢驗並做記錄,而其阻抗值 需介於 : 或500k 到 10 MEGA 歐姆. 導電袋及抗靜電管 1. 當不在靜電防護區域或工作站時所有的靜電敏感材料必須裝在靜電防護包裝之内. 2. 材料在貯存或運送中必須以導電管子,袋子或導電容器等法拉第容器包裝. 3. 管子要用抗靜電或導電的材質． 4. 線上用做循環使用之管子，使用期限不得超過一年。 提醒標籤 1. 黃色的ESD 警告標誌必須貼在導電袋及包裝箱上. 2. 每件靜電防護包裝物必須有明顯的靜電警告標籤.這靜電警告標籤必須能在三英尺外以正常目視可辨識出. 抗靜電泡墊 靜電敏感材料的包裝及填充物當使用時不得因摩擦而產生大於 +/- 200(TCP100V) 伏特之靜電壓. 靜電地氈或桌墊(1) 1. 靜電防護傳導物表面至靜電接地之電阻等於或大於10E5 歐姆 到 10E9 歐姆 2. 建議最低的阻抗值是10E5 歐姆. 但是如果能夠符合當地安全要求則低於此建議值的阻抗可以採用. 3. 電極-兩個重約 2