薄膜厚度测试20161202概要1.pptxVIP

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2017-07-10 发布于湖北
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薄膜厚度测试20161202概要1.pptx

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薄膜厚度测试20161202概要1

李凡;什么是薄膜;薄膜厚度测量的意义;内容提要;薄膜测量方法;不同测量方法定义的膜厚;台阶仪测量原理;台阶仪测量原理;? 膜厚测量时，需薄膜样品上薄膜的相邻部位完全无膜，形成台阶(两种方法：遮盖、腐蚀)。当触针横扫过该台阶时，就能通过位移传感器显示出这两部分之间的高度差，从而得到形状薄膜值dT。 ;Dektak?XT 探针尖半径 (Stylus)：2.0?μm, 0.7?μm 厚度测量范围 (Vertical scan range)：?up to?1 mm 探针作用力(Force)：1?~ 15 mg 扫描长度 (Scan length)：50?μm?~ 55 mm 视场范围(Field of view)：1?~ 4 mm 台阶高度重复性(Step height repeatability)： 5 ? 垂直方向分辨率(Vertical resolution)：1 ?? (for?6.55?mm measurement range) 测量样品最大尺寸(Sample compatible)：150 mm;;石英晶体振荡法;;;;;靶盘旋转密封装置;;;椭偏仪测量膜厚;光学基础;;菲涅耳公式;菲涅尔系数;椭圆偏振方程;椭??的困难;建模拟合;;Thanks for your attention