薄膜制备技术第二部分 真空技术基础-田民波概要1.ppt

旋片式机械真空泵 经过n个循环后 当泵室体积大，被抽容积小时，即ΔV/V 越大，V/(V+ΔV)n→0越快，Pn →0越快。 但n→∞时Pn →0。实际上不可能，有一极限值，因为泵结构上存在“有害空间→ 出气口与转子密封点之间的极小空隙空间。1处的气体不能被排走，会穿过2点，回到吸气侧。 旋片式机械真空泵 每秒转子转m次，则t秒转 n=mt，这时待抽空间的压强为Pt： 机械泵的工作特性曲线 上式只有在Pt远远大于极限真空时才适用，即该关系适用于抽气的早期。 旋片式机械真空泵 双级泵和机械泵油 为了减小有害空间的影响，通常采用双级泵；该泵由两个转子串联，以一个转子空间的出气口为另一个转子空间的进气口。可使极限真空从单级泵的1Pa提高到10-2Pa ； 机械泵油要求：饱和蒸气压低，有一定的润滑性和粘度，较高的稳定性。 分子泵 当气体分子碰撞到高速移动的固体表面时，在表面停留很短时间，并在离开时获得与固体表面速率相近的相对切向速率。 靠高速转动的转子碰撞气体分子并把它驱向排气口由前级泵抽走，使容器获得超高真空。 特点：启动速度快、噪声小、运行平稳、抽速大、不需任何工作液体。 * 第二章：真空技术基础 真空的基本知识 真空的获得 真空的测量 真空度的单位 为了使被研究的样品不被周围气氛所污染，获取“原子清洁”的表面，薄膜制备和衬底表面形成过程往往是在真空或超高真空中进行的。