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涂布机是打开和关闭的过程
ZHL-1800立式双门镀膜机开机流程
开总电源
电压380V/50Hz
开气泵
气压0.4～0.6MPa
气量不小于0.1m3/min
开冷却水
水温≤25° 水压0.2～0.3MPa
开控制面板总电源
开前置泵
开扩散泵
第二个扩散泵在第一个扩散泵
启动5秒后工
开复合真空计表
扩散泵预热90分钟
待生产
ZHL-1800立式双门镀膜机生产流程
开放气阀
向真空室充大气，打开大门，装好镀件
把待镀件装上工件架，关好大门，紧扣门锁
开粗抽泵
开粗抽阀
真空压强达1.0*103 Pa
开罗茨泵
真空压强达3*100 Pa
关粗抽阀，开前置阀
开精抽阀
真空压强达5*10-2Pa
开蒸发
ZHL-1800立式双门镀膜机关机流程
取出镀件，关其中一扇大门
关扩散泵，前置泵继续工作
开粗抽泵
开粗抽阀对真空室抽气
待真空室内的大气基本排完（约3分钟）
关粗抽阀
关粗抽泵
扩散泵外壳下端冷却到70°左右
关前置泵
关冷却水、压缩空气
关总电源
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