3PECVD基本操作.ppt

PECVD的操作流程 戴好无纺 布口罩 小推车的推法 从刻蚀间推硅片时，把数量核对好后，盖子盖好后方可推行 推行的方位是小车盖子的打开方向，不可以按扶手的方向推车，以免盖子的支撑柱伤到人或撞击。 推行时要注意小车的平稳，严禁忽快忽慢。 到达岗位时将小车放到指定的位置。 盖子打开取出硅片后，要把盖子重新盖好。 空的承载盒放到小车下面或车子里面。 盖子盖好后返还刻蚀间。 推小车的方向是竖着的。 推小车的速度要平稳且缓慢。 推小车时要目视前方,如周围有人要事先通知，待回应后方可继续行进。 小车行走时要按照指定的路线行进。 小车移动时，手不能脱离小车。 移动小车时，要与墙面、设备、设施、工夹具等，保持一定的距离避免相撞。 装卸片的方法 取出做好的吸笔插进装片房上的真空软管里,调试气压。 从小推车中拿出四盒片子,把小推车盖子盖好。 确认承载盒开口方向后放到装片房上。 将小车的车轮托盘向下压至固定的位置。 将硅片轻轻取出。 拿起吸笔将笔头平放在硅片的右角稍偏里一点后，食指堵在笔中部上的孔。 放进石墨舟里，先将下方带有两个工艺点的位置固定好，再将硅片倾斜卡在上方一工艺点内。 重复上述的步骤直至把舟的一面装满硅片。 检查片子是不是与舟壁结合，是不是卡在三个工艺点上。 将小车托盘扶平且旋转180°完成舟另一面的装片作业。 待工艺完成推到冷却房冷却后，开始卸片。 将托盘压低至固定位置。 用吸笔将硅片从上方一工艺点中斜出后,把硅片从石墨舟中取出放进卸片盒里,重复这样的动作,完成卸出舟一面硅片的作业。 将硅片取出放在层压皮上整理整齐，放进承载盒里。 重复上述的动作，完成卸片。 输入资料 把放有舟的小车推进机器内，在JOBS页面中会自动跳出一个窗口。 将电脑键盘大写锁定。 把自己名字的第一个大写字母输入。 输入舟的编号。 选择工艺文件。 选择运行工艺的管号。 点击回车，完成输入资料。 表单的填写 更改资料 选择你要更改或删除的舟的资料。 打开SETUP菜单，点击BOAT更改或删除舟的资料。 输入密码后 〔设定〕 ，〔删除〕 选择相应的界面删除石墨舟的信息. 选择手动点击NEXT更改舟号,选择运行工艺的管号。 点击NEXT选择舟的实际位置,选择舟的状况。 点击NEXT选择工艺文件,输入操作者。 点Finish完成设定。 舟的刻蚀 当石墨舟工艺运行次数大于120次时，应随时对该舟进行刻蚀；运行工艺超过150次，必须对其进行刻蚀。 调用刻舟工艺文件。 电脑会自动显示运行次数，点击回车，显示刻舟时间，再点击回车，执行刻舟命令。 工艺完成后，观察实际效果，颜色是否均匀一致。 色差比较明显的，可以用专用砂纸打磨。打磨时要轻柔，打磨后用气枪对其清理，气枪要高于舟10厘米。 将电极孔泛白的涂层打磨掉。 清理完毕后，调用舟处理工艺运行8次，对该舟进行处理。 石墨舟的清洗 清洗原因： 当石墨舟运行到一定的次数后,表面沉积了很厚的氮化硅,影响舟壁与硅片的触，从而影响镀膜的质量,因此要进行石墨舟的清洗。 清洗步骤： 向清洗机一侧的槽内加入108L氢氟酸，适量加入纯水使液面高度大约在30—40cm，并向另一侧的槽加入纯水。 把需清洗的石墨舟进行拆卸，在拆卸的过程中要注意：石墨舟片要轻拿轻放；石墨舟的零部件不能丢失。 将石墨舟片放入专用清洗花篮中，用小车推到清洗机旁，放进配好液的槽里。 10—12h后取出花篮，放进纯水槽内，用纯水反复冲洗直至石墨舟表面干净。 完成石墨舟的清洗。把清洗完的石墨舟片放入烘干箱，温度设定到80℃，烘干4—6h。 在这段时间内，把清洗机内的废液排出并对槽进行清洗。 把石墨舟片按照原来的位置组装. 设备维护 运行停泵工艺文件。 在System中输入权限后,将温度降到室温（25度左右）。 在降温的同时,准备：高温手套、吸尘器、石英钩、石英管、防护眼镜、酒精、抹布等。 待温度降至室温（25度左右）后，把桨的位置设定到10的位置，管门自动打开。 戴上高温手套、防护眼镜、用石英钩将管内的碎片钩到管口。 将碎片取出石英管。 用吸尘器将管内的小碎片吸出。 用粘有酒精的抹布擦拭管口及管门。 注：从事上述作业时要注意不要碰到电极 和热电偶。 桨的位置设定到0的位置，管门关闭，停止运行停泵工艺，升温、结束设备维护。 祝愿朋友们快乐生活、快乐工作！ ?谢谢大家！ * PECVD基本操作 戴好洁 净手套 取来待镀 膜的硅片 在刻蚀处检查硅片数量 把石墨舟推到洁净工作台下 取出承载盒放入洁净工作台 取出石英吸笔，并擦拭干净 把硅片一片片插入石墨舟内 注意硅片的扩散方向 一舟插完后，用小车推到设备的上料口 对计算