采用KrF准分子激光制备聚合酶链式反应微流控芯片.pdfVIP

第32卷第8期 中 国 激 光 V01．32，No．8 2005年8月 CHINESE OFLASERS August，2005 JOURNAL 文章编号：0258—7025(2005)08—1137一06 采用KrF准分子激光制备聚合酶链式反应 微流控芯片 姚李英，刘保安，陈 涛，刘世炳，左铁訇 (北京工业大学激光工程研究院，北京100022) 摘要 采用价格便宜的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替价格昂贵的硅或者玻璃作为聚合酶链式反应(PCR)微流 控芯片的基片材料，采用柔性大、自动化程度高的准分子激光微加工方法代替加工工艺复杂的光刻化学腐蚀方法。 kV和18 mm× 通过对聚甲基丙烯酸甲酯准分子激光加工规律的研究，在19 mm／min的优化加工参量下，在40 63mm的聚甲基丙烯酸甲酯基片上制备出了20个循环的聚合酶链式反应微流控芯片。芯片微通道横截面呈倒梯 mm，加工耗时57min。该芯片和相同尺寸的盖片 形，底面粗糙度小于o．5扯m。微通道宽104肛m，深56“m，长1040 在160N和105。C条件下经过20min热压键合在一起，键合强度为o．85MPa。通过进样实验发现键合后的芯片具有 良好的密封性。键合后的芯片和温控系统集成在一起，采用比例积分微分(PID)方法得到的控温精度为土o．2℃，采 用红外热像仪得到的相邻温区间的温度梯度分别为16．5℃和22．2℃，即该芯片可以实现聚合酶链式反应扩增。 关键词 激光技术；准分子激光；聚合酶链式反应微流控芯片；热键合 中图分类号 TN249 文献标识码 A Micro’Flow ChainReactionFabricated throughPolymerace Chip by KrFExcimerLaser YAO Bao—an，CHENTao，I。IU Tie—chuan Li—ying，LIU Shi_bing，ZUO (CoZZegPo厂LⅡsPrE”gi玎PPri钾g，BP0i竹gLkiuPrsi￡yo，TPf^”oZogy，BP巧i以g10叩22，C^i”甜) AbstractA PMMAwaschosenasthesubstrateinsteadof siliconor a248一nmexcimer cheap expensive glass，and laserwithflexibleandautocharacter asanew After fabrication replacedcomplexlithography technique．studying thePMMAablation fabricated248nmexcimerlaser，aPMMA(40mm×63mm)basedmicro—flow principle by chain with20 wasfabricatedat19kVand18 throughpolymerace