808状犿含铝半导体激光器的腔面镀膜-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ６ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．６ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ６ Ｊｕｎ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００６１２５８０６ 　 ８０８狀犿含铝半导体激光器的腔面镀膜 ， ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ １２ １ １ １ １ 李再金 ，胡黎明 ，王 烨 ，杨 晔 ，彭航宇 ，张金龙 ，秦 莉 ，刘 云 ，王立军 　 　 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 激发态物理重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００４９） 摘要：研究了高功率 ８０８ｎｍ量子阱脊型波导结构含铝半导体激光器在空气中解理时不同镀膜方法对输出激光功率的影 响，讨论了半导体激光器的灾变性光学镜面损伤机理及其腔面钝化薄膜的选择特性。对半导体激光器管芯前后腔面不 镀膜，前后腔面镀上反射膜和前后腔面先镀上钝化薄膜再镀腔面反射膜方法进行了对比，测试了半导体激光器的输出功 率。结果表明，先镀上钝化薄膜的器件比只镀上腔面反射膜的器件输出的激光功率高 ３６％。只镀腔面反射膜的半导体 激光器器件在电流为 ５Ａ时就失效了，而镀钝化膜的器件在电流为 ６Ａ时仍未失效，说明镀钝化薄膜的器件能有效地防 止灾变性光学损伤和灾变性光学镜面损伤。在半导体激光器芯片腔面镀上钝化薄膜是提高大功率半导体激光器输出功 率的有效方法。 关 键 词： 半导体激光器；镀膜；腔面 ８０８ｎｍ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ２４８．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１２５８ 　　 　　 犉犪犮犲狋犮狅犪狋犻狀 犳狅狉８０８狀犿犃犾犮狅狀狋犪犻狀犻狀 狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犾犪狊犲狉犱犻狅犱犲狊 犵 犵 ， ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ １２ ， ， ， ， ， ＬＩＺａｉｉｎ ＨＵＬｉｍｉｎ ＷＡＮＧＹｅ ＹＡＮＧＹｅ ＰＥＮＧＨａｎｕ ｊ ｇ