Ba05Sr05TiO3铁电薄膜的微弧氧化成膜研究-表面技术.PDF

摇 第42卷摇 摇 第4期摇 摇 2013 年8 月 表面技术 摇 摇 摇 Vol.42摇 No.4摇 Aug.2013 SURFACE TECHNOLOGY 摇摇摇 35 Ba Sr TiO 铁电薄膜的微弧氧化成膜研究 0.5 0.5 3 1 2 3 3 王敏 ,郭会勇 ,张果戈 ,李文芳 (1.广东技术师范学院机电学院,广州510665;2.平高集团有限公司,平顶山467001; 3.华南理工大学 材料科学与工程学院,广州510640) 摇 摇 [摘摇 要]摇 以0.2 mol/ L Ba(OH) +0.2 mol/ L Sr(OH) 溶液为电解液,采用微弧氧化法,在Ti板表面原位 2 2 生长铁电薄膜,并对薄膜的物相构成、元素分布情况、截面结构及介电性能进行表征。 结果表明:该工艺下制备的 薄膜主要由四方相Ba Sr TiO 构成,薄膜致密层内,Ba,Sr,Ti和O元素分布都较均匀,但在微弧氧化孔洞附近 0.5 0.5 3 存在含量波动;该薄膜在1kHz下的介电常数较优,为411.3。 最后对微弧氧化沉积铁电薄膜的成膜过程进行了 分析,提出了微弧氧化过程中可能存在的化学反应。 [关键词]摇 Ba Sr TiO ;铁电薄膜;微弧氧化;介电性能 0.5 0.5 3 [中图分类号]TG174.453 摇 摇 摇 [文献标识码]A 摇 摇 摇 [文章编号]1001鄄3660(2013)04鄄0035鄄04 Formation of Ba Sr TiO Ferroelectric Film by Microarc Oxidation 0.5 0.5 3 1 2 3 3 WANGMin ,GUOHui鄄yong ,ZHANG Guo鄄ge ,LI Wen鄄fang (1.College of Mechanical Engineering,Guangdong Polytechnic Normal University,Guangzhou510665 China; 2.Pinggao Group Company Limited,Pingdingshan467001,China; 3.School of Material and Engineering,South China University,Guangzhou510640 China) [Abstract]摇 Ba Sr TiO thin filmswere conducted by microarc oxidation and placing titanium plates as anode in0.2 0.5 0.5 3 mol/ L barium hydroxide 0.2 mol/ L strontium hydroxide aqueous solution. Phase composition,elements distribution,cross section structureanddielectricpropertiesof thefilmswerecharacterized.