传感器原理3.2气敏传感器.pdfVIP

3.2 气敏传感器 根据检测气体成分不同，气敏传感器分为不同形式，它们 包括： 接触燃烧式气敏元件 金属氧化物半导体气敏元件 氧化锆气敏元件 一、接触燃烧式气敏传感器 可燃性气体(H2 、CO、CH4等)与空气中的氧接触，发生氧 化反应，产生反应热(无焰接触燃烧热)，使得作为敏感材料 的铂丝温度升高，电阻值相应增大。一般情况下，空气中可 燃性气体的浓度都不太高(低于10％)，可燃性气体可以完全 燃烧，其发热量与可燃性气体的浓度有关。 空气中可燃性气体浓度愈大，氧化反应(燃烧)产生的反应 热量(燃烧热)愈多，铂丝的温度变化(增高)愈大，其电阻值增 加的就越多。因此，只要测定作为敏感件的铂丝的电阻变化 值(ΔR)，就可检测空气中可燃性气体的浓度。但是，使用单 纯的铂丝线圈作为检测元件，其寿命较短，所以，实际应用 的检测元件，都是在铂丝圈外面涂覆一层氧化物触媒。这样 既可以延长其使用寿命，又可以提高检测元件的响应特性。 在获得低温变化的信号后，下一步的信号处理将和温度检 测的方式完全相同。 接触燃烧式气敏元件的结构 用高纯的铂丝,绕制成线圈,为了使线圈具有适当的阻值 (1Ω～2Ω),一般应绕10圈以上。 元件 Al O 载体 触媒 2 3 Pt丝 (0.8-2)mm (a)元件的内部示意图 (b)敏感元件外形图 接触燃烧式气敏元件结构示意图 二、半导体气敏传感器 半导体气体传感器的主要品种为金属氧化物半导体气敏元 件（气敏电阻）和烧结型（SnO2 ）气敏元件，其中大多是以 金属氧化物半导体为基础材料。 金属氧化物半导体（气敏电阻）的工作原理及其特性 气敏电阻是一种半导体敏感器件，它是利用气体的吸附而 使半导体本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的。人 们发现某些氧化物半导体材料如SnO2 （氧化锡）、ZnO （氧 化锌）、Fe2O3 （氧化铁）、MgO （氧化镁）、NiO （氧化 镍）、BaTiO3 （钛酸钡）等都具有气敏效应。 烧结型SnO2气敏元件 SnO2系列气敏元件有烧结型、薄膜型和厚膜型三种。烧结型 应用最广泛性。 其敏感体用粒径很小(平均粒径≤１μm) 的SnO2粉体为基本材 料，根据需要添加不同的添加剂，混合均匀作为原料。主要用 于检测可燃的还原性气体，其工作温度约300℃。根据加热方式， 分为直接加热式和旁热式两种。 （1）直接加热式SnO2气敏元件(直热式气敏元件) 由芯片(敏感体和加热器)，基 加热极兼电极 座和金属防爆网罩三部分组成。 SnO2烧结体 因其热容量小、稳定性差，测量 3 4 1 3 电路与加热电路间易相互干扰， 1 2 4 加热器与SnO2基体间由于热膨胀 系数的差异而导致接触不良，造 2 成元件的失效，现已很少使用。 (a)结构 (b)符号 内热式气敏器件结构及符号 （2 ）旁热式SnO2气敏元件 电极 6 Ø18.4 加热器 不锈钢网