应用于神经通路研究的微机电系统探针与低功耗低噪声单集成芯片系统.PDF

第45卷 分析化学 (FENXI HUAXUE)摇 仪器装置与实验技术 第4期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 2017年4月 ChineseJournal of Analytical Chemistry 611~619 藡蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥藡蕥蕥 DOI:10.11895/j.issn.0253鄄3820.160908 仪器装置与实验技术 藡蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥蕥 藡 应用于神经通路研究的微机电系统探针与 低功耗低噪声单集成芯片系统 *1,2 2 2 1 1,3 1 孙建辉 摇 蔡新霞摇 刘军涛摇 王春兴摇 李登旺 摇 陈泽源 1 4 1,5 程传福摇 汪金辉摇 胡冬梅 1(山东师范大学,物理与电子科学学院,济南240014) 2(中国科学院电子学研究所,传感技术联合国家重点实验室,生物电子(北方基地),北京 100190) 3(山东师范大学,山东省医学物理图像处理技术重点实验室,生命与健康研究院,物理与电子科学学院,济南240014) 4(Department of Electrical and Computer Engineering,North Dakota State University,Fargo,ND58102 USA) 5(山东师范大学,心理学院,实验心理学实验室,济南240014) 摘摇 要摇 针对神经内海马区谷氨酸化学递质与神经电生理信号的并行双模检测需要,设计了8通道电化学 递质与电生理双模并行检测传感芯片微系统,系统组件包括:基于SOI(Silicon鄄on鄄insulator)工艺衬底制备的 微机电系统MEMS(Micro鄄electro鄄mechanical system)神经信息检测探针、低噪声颅内神经电小信号放大器、低 功耗中速 SAR(Successive approximation register)鄄ADC(Analog/ Digital Converter)模/ 数转换器、精简低能耗 OOK(On鄄Off鄄Keying)/ FSK(Frequency鄄Shift鄄Keying)调制射频发射器。 本微型神经信息传感芯片系统具有体积 小、抗干扰、化学递质与电生理信号并行检测、灵敏性好、线性度高等特点。 对电生理裸探针的4 个电生理位 点表面沉积铂黑,电极阻抗优化为35.0 k赘;通过酶固定技术在谷氨酸检测位点上纳米定向修饰酶复膜结构 (Pt鄄mPD鄄GluOx)以形成具有特异选择性的生物识别点,实现神经化学递质谷氨酸的检测;在6 ~35 滋mol/ L 谷氨酸浓度范围内线性度是0.97,单位面积灵敏度是0.0069 pA/ (滋mol/ L),电流响应误差3.0 pA,表明此 探针可以实现特异选择功能。 同时,基于数模混合180 nm 的ASIC(Application specific integrated circuit)芯片 制造工艺(SmicRF180 nm 1Poly6M)制造的神经电生理传感后端信息调理单芯片,其内部关键测试指标:微弱 小信号低噪系电压放大器(等效输入噪声电压臆0.7 滋V rms,增益70 dB,电源/ 共模抑制比100 dB等)、 SAR鄄ADC(有效量化位数是12 bits,功耗1.2 mW,最大转换速率1Msps,信噪比为60.9 dB)、ASK/ FSK调制 的射频发射器(功放PA4 ~5 dBm,输出功率满足10 m辐射距离)。 此微型神经信息感知处理芯片集成检测 系统,可为海马区神经通路的研究提供便携、普适性的无线可穿戴设备。