掺锡As2S8薄膜光折变效应及其在条波导制备中的应用研究!-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 *( * #’ * ， ， ， MD= 3*( LD 3* N;O #’ （ ） !)$#’H#’H*( * H$#$()* .E6. IJ5,KE. ,KLKE. !#’ EA- 3 IAO/ 3 ,D@ 3 掺锡! $ 薄膜光折变效应及其 # % 在条波导制备中的应用研究! ） ） ） ） ） ） ） ! ! ! ! # $ % 孙 蓓 陈抱雪 隋国荣 王关德 邹林儿 浜中广见 矶 守 !）（上海理工大学光电学院，上海 #’$ ） # ）（南昌大学物理系，南昌 $$$!） $ ）（日本法政大学工学院物质化学系，日本 !(%)(*(% ） % ）（日本东京农工大学工学院应用化学系，日本 !(%)(*((） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #( ’ $ #( ! !+ 实验研究了,- ./ , 非晶态半导体薄膜的光折变效应及其膜厚变化的现象，归纳了沉积态样品、退火态样品 ! # 0’ 和光饱和态样品的实验规律，提出和采用紫外光激励的方法试制了 条形波导， 波长导模激励显 ,- ./ , +$# 1( -2 ! # 0’ 示该波导具有良好的导波特性3 关键词：光波导技术，硫属化合物玻璃，光阻断效应，光折变效应 ： ， ， !’’ %#(# %#(4 %#05 备,- ./ , 条状波导是必须的，实验表明常规的反 ! # 0’ !1 引 言 应离子蚀刻工艺或湿法蚀刻工艺不能适用，前者不 能使./ 发生气化反应，后者是由于 ,- ./ , 不耐