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能量控制模式下聚合物超声波微压印成形-哈尔滨工业大学学报
第47卷 第3期 哈 尔 滨 工 业 大 学 学 报 Vol47 No3
20 15年3月 JOURNAL OF HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY Mar. 2015
doi:10.11918/ j.issn.0367⁃6234.2015.03.018
能量控制模式下聚合物超声波微压印成形
1 2 1 2 1
罗 怡 ,马玉辉 ,闫 旭 ,祁 娜 ,王晓东
(1. 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室(大连理工大学),116024 辽宁 大连;
2. 精密与特种加工教育部重点实验室(大连理工大学),116024 辽宁 大连)
摘 要:针对聚合物微结构超声波压印成形中工艺窗口窄、可控性较差的问题,提出采用能量控制模式控制超声波能
量,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片为被成形材料,通过设计对比实验,研究能量控制模式与时间控制模式对基片成
形的影响.实验结果表明,在能量控制模式下,当热辅助温度65 ℃,超声压力400N,超声振幅114 μm,超声能量为700~
1000 J 时,均能获得92%以上的深度复制率.通过测量热影响区聚合物在超声波作用下的温升曲线知,在相似工艺参数
下,能量控制模式下聚合物的温度峰值低,处于成形区的时间长,因此该控制模式下工艺窗口宽、可控性好.
关键词:聚合物微结构成形;超声波压印;能量控制模式;时间控制模式
- - -
中图分类号:TH706;TB559 文献标志码:A 文章编号:0367 6234(2015)03 0103 04
Replication of polymer microstructure in energy control mode
using ultrasonic embossing
1 2 1 2 1
LUO Yi ,MA Yuhui ,YAN Xu ,QI Na ,WANG Xiaodong
(1. Key Laboratory for Micro/ Nano Technology and System of Liaoning Province(Dalian University of Technology),
116024 Dalian,Liaoning,China;2. Key Laboratory for Precision and Non⁃traditional Machining Technology of Ministry of
Education(Dalian University of Technology),116024 Dalian,Liaoning,China)
Abstract:Ultrasonic embossing isa new replicationtechniquefor polymer microstructures,and it isdifficult to
control the embossing process,and the processwindow is very narrow. Aiming
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