表面技术在电子器件生产中的应用.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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表面技术在电子器件生产中的应用

18 3 Vol118 No13 20019 Journal of Guangdong University of Technology Se tember 2001 张博, 朱有兰 ( , 510643) : , , , 1 : ; ; ; ; :TB43 :A : 1007-7162( 2001) 03-0067-05 , , , 1 , 1958 40 , , , , , [ 1] 1 , 1 1 1 , : ( PVD) ; ( CVD) ; 1 , , , 1 2 2. 1 ( PVD ) , : , [2] 1 , , 1 , , , , , [ 3] 1 , : 2000-02-27 : ( 1975-) , , 98 , . 68 18 , , [4~ 8] 1 , , , , , 1 , , , , [ 9] 1 , Yba Cu O , 2 3 7 , [ 1011] 1 , 1 , , Ó-V [ 12] 1 , 1 19 , 50 ; 60 , [ 13] ; 1965 IBM , 1 , : 1 , ; , 1 , , 1 ZnSe 1000 e , 150 e [ 14] 1 , , , 1 , 1 , : SiO2 , , , 200 nm/ min, , SiO 2 [ 15] , , , 1 , , , ; , 1 1938 , Berghaus , 1963 Mattox , 1 [ 16] 1 , Ta-NTa-AlAuCuNiSiO2Al2O3 [ 17] 1 212 ( CVD ) 60 , , , 1 , : Au Ag Cu , Ag Cu , , , Au , , 1 , , , 1 : WF6 , , [ 18] 1 , , U Th , MOS a 3 , :