超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术-哈尔滨工业大学学报.PDF

第４２卷　第７期 哈　尔　滨　工　业　大　学　学　报 Ｖｏｌ４２ Ｎｏ７ 　 　 ２０１０年７月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＨＡＲＢＩＮＩＮＳＴＩＴＵＴＥＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｊｕｌｙ２０１０ 　　　　　　 超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术 张　伟，王　?，王　玲 （哈尔滨工业大学 空间光学工程研究中心，哈尔滨 １５００８０，ｗａｎｇｚｈａｏｑ＠１６３．ｃｏｍ） 摘　要：为了克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响，采用动态干涉测量结合补偿法进行超大口径凹 非球面的精密检测．通过分析超大口径凹非球面反射镜检测的难点，采用动态干涉仪克服检测中振动和大气 扰动，并利用Ｚｅｍａｘ光学设计软件，以口径３５ｍ的凹非球面反射镜为例设计了干涉补偿光路．误差分析结 果表明，采用动态干涉仪和补偿法进行超大口径凹非球面反射镜面形检测，不仅可以克服振动和大气扰动的 影响，还能达到λ／９０以上的检测精度． 关键词：超大口径凹非球面反射镜；超长光路；振动；大气扰动；动态干涉仪 中图分类号：ＴＨ７０６ 文献标志码：Ａ 文章编号：０３６７－６２３４（２０１０）０７－１０４２－０４ Ｄｙｎａｍｉｃｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｔｅｓｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆｅｘｔｒａｌａｒｇｅｃｏｎｃａｖｅ ａｓｐｈｅｒｉｃｍｉｒｒｏｒｓ ＺＨＡＮＧＷｅｉ，ＷＡＮＧＺｈａｏ，ＷＡＮＧＬｉｎｇ （ＳｐａｃｅＯｐｔｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５００８０，Ｃｈｉｎａ，ｗａｎｇｚｈａｏｑ＠１６３．ｃｏｍ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｄｅａｌｗｉｔｈｔｈｅｖｉｂｒａｔｉｏｎａｎｄｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅｄｕｅｔｏｔｈｅｌｏｎｇｏｐｔｉｃａｌｐａｔｈｓｉｎｅｘｔｒａｌａｒｇｅｃｏｎｃａｖｅａｓ ｐｈｅｒｉｃｍｉｒｒｏｒｓｔｅｓｔｉｎｇ，ｔｈｅｄｙｎａｍｉｃｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒａｓｓｏｃｉａｔｅｄｗｉｔｈｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒｓｉｓａｄｖａｎｃｅｄ．Ｔｈｅｄｉｆｆｉｃｕｌｔｉｅｓｉｎ ｌａｒｇｅｃｏｎｃａｖｅａｓｐｈｅｒｉｃｍｉｒｒｏｒｓｔｅｓｔｉｎｇａｒｅｓｔｕｄｉｅｄｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ．Ｄｙｎａｍｉｃｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｉｓｅｍｐｌｏｙｅｄｔｏｄｅａｌ ｗｉｔｈｖｉｂｒａｔｉｏｎａｎｄａｉｒｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅ．ＵｓｉｎｇｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｄｅｓｉｇｎｓｏｆｔｗａｒｅＺｅｍａｘ，ｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒｓｗｉｔｈ３．５ｍａｐｅｒｔｕｒｅ ａｒｅｄｅｓｉｇｎｅｄａｓａｎｅｘａｍｐｌｅｆｏｒｃｏｎｃａｖｅａｓｐｈｅｒｉｃｍｉｒｒｏｒｔｅｓｔｉｎｇ．Ｔｏｌｅｒａｎｃｅａｎａｌｙｓｉｓｉｎｄｉｃａｔｅｓｔｈａｔｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｏｆｔｈｉｓｔｅｓｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｉｓｂｅｔｔｅｒｔｈａｎ ／９０． λ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｅｘｔｒａｌａｒｇｅｃｏｎｃａｖｅａｓｐｈｅｒｉｃｍｉｒｒｏｒ；ｌｏｎｇｏｐｔｉｃａｌｐａｔｈ；ｖｉｂｒａｔｉｏｎ；ａｉｒｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅ；ｄｙｎａｍｉｃｉｎｔｅｒ ｆｅｒｏｍｅｔｅｒ ［１］ 　　近年来，由于地基、天基天文学系统的发展， 口径的ＶＬＴ（ＶｅｒｙＬａｒｇｅＴｅｌｅｓｃｏｐｅ）等 ．相应的 大口径乃至超大口径的光学系统得到越来越广泛 大口径光学系统检测也达到了相当高的水准，以 的应用，大口径光学系统的检测技术也相应得到 ［２］ 美国为例，ＭＭＴ（ＭｕｌｔｉｐｌｅＭｉｒｒｏｒＴｅｌｅｓｃｏ