新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO 2 的研究进展 - 材料工程.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO 2 的研究进展 - 材料工程.PDF

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新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO 2 的研究进展 - 材料工程

84 / 2 9 9 Nb- TiO 2 Development of Novel T ransparent Conducting Oxide Nb-doped T iO2 Films , , , , ( , 71 72) FENG Xian-xian, ZH AO Xiao-ru, LIU Kai, LIU Bo, ZHAO Liang ( Department of A pplied Physics, School of Science, N orthw estern Polytechnical U niversity, Xian 71 72, China) : Nb-T iO Nb-T iO 2 2 Nb-TiO , 2 : Nb-TiO ; ; 2 : T N3 4 : A : 1 1-4381( 2 9) 9- 84- 5 Abstract: Novel transparent conducting oxide Nb-doped TiO2 thin films are currently studied by re- searchers as hot materials due to their excellent optical and electrical properties. The optical and elec- trical properties and mechanism of Nb- doped T iO2 films w ere analyzed. M eanw hile, the effect factors on the optical and electrical characteristics, the current research developments, and the future w ork w ere summarized. Especially, the effect of carrier density and scattering process on optical transmis- sion and conductivity w as discussed. Key words: N b-TiO2 ; transparent conducting oxide thin film; optical and electrical mechanism ( Transparent Conducting Ox- , , , ide, T CO) In, Sb, Zn Cd , ; IT O , , , ( Liquid Crystal Displayer , LCD) , [ 1] TCO 2 , 19 7 Badeker CdO , 195 ZAO , SnO2 In2 O3 ; ZnO