水溶性负性光致抗蚀剂的研制-影像科学与光化学.PDF

　 ２６ 　 ２ 影 像 科 学 与光 化 学 Ｖｏｌ．２６　Ｎｏ．２　 第 卷 第 期 　 　 ２００８ ３ ＩｍａｇｉｎｇＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＰｈｏｔｏｃｈｅｍｉｓｔｒｙ Ｍａｒ．，２００８ 年 月 檭檭檭檭檭殐 檭 殐 檭 殐檭 研究简报殐檭 檭檭檭檭檭 水溶性负性光致抗蚀剂的研制 ， ， 　 ， 　 单英敏 曹瑞军 高 颖 刘 毅 （ ， ７１００４９） 西安交通大学 理学院应用化学系 陕西 西安 　 ：  （ＰＶＰ）