SPM图像模拟、表面重建及探针估计.pdfVIP

20 5 电　子　显　微　学　报 Vol-20, No.5 200110 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 2001-10 :1000-6281(2001)05-0649-05 SPM 、 陈宇航, 黄文浩, 鲁　健, 党学明 (中国科学技术大学精密机械及精密仪器系, 合 230026) 　:扫描探针显微镜获得的图像是样品和探针共同作用的结果, 它只是被测样品实际形貌的近 似描述, 所以进行定量的SPM 图像模拟、探针估计和表面重建工作十分必要。 本文分析比较了几种 SPM 图像处理的算法, 且应用数学形态学方法给出了一些典型表面的图像模拟、表面重建以及探针估 计的结果, 这在样品表面形貌的精确探测以及纳米计量中均有重要意义。 :图像模拟;数学形态学;扫描探针显微镜;表面重建;探针估计 :O793;TN16　　:A (SPM )(STM)、(AFM) [1] (SNOM), 。, , 。 , (、), SPM , 。SPM , ()SPM ()( [2] )。、 。 : [3] (1)Legendre　David Keller Lege dre STM 。: (), , 、。 , 。 , “”, 。 :(), , 。Lege dre 。 [4] (2) 　。 , 。 i (x, y ), x, y R, t (x , y ), s(x, y ) , Sr(x , y ), : Sr(x, y )=mi [i(x , y )+t (x -x , y -y )] (x , y )∈R x y [4] , 。 : i (x, y )=mi [s(x , y )-t(x -x, y -y )] (x , y )∈R xy , Lege dre 。 , , Lege dre 。 [5, 6] (3) 　, 　 　 　J.Chi .Electr.Microsc.Soc. 20 650 , , , 。 :I=S P。“ ”, I、S、T 、, P=-T。 , Sr : Sr=I P, “ ”。 [7] I=Sr P, S Sr, Sr S 。 , Pr :Pr=I S。 (4)“” Pr=I S , S 。 , Villarrubia “”(Bli d Reco structio ) [8 ～10] [11] , P.M.Williams “” 。“” , , , 。: PI+1 ∩[(I-x ) Pi (x