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- 2017-09-02 发布于天津
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氢气氛退火对硅上低温外延制备的硅锗薄膜性能的影响 - 无机材料学报
第32 卷 第2 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 32 No. 2
2017 年2 月 Journal of Inorganic Materials Feb., 2017
文章编号: 1000-324X(2017)02-0191-06 DOI: 10.15541/ji
氢气氛退火对硅上低温外延制备的硅锗薄膜性能的影响
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王 锦 , 陶 科 , 李国峰 ,
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