(一)摘要(二)研究动机与研究问题-专题周记系统.PDF

(一)摘要 本研究設計一套簡式椭偏儀搭配兩種入射角量測薄膜樣品，再利用 MATLAB軟體撰寫優化程式解算出薄膜之光學常數 （包括折射率、膜厚與消 光係數），以期準確求得薄膜樣品光學常數。為量測薄膜樣品的光學常數， 首先利用自製之簡式椭偏儀架構 將光源以兩種入射角度量測各類薄膜 並測得 椭偏參數Ψ(psi)和Δ(delta)值，再將所得到之參數代入Durde [1]與Archer [2]光 學常數轉換公式，利用MATLAB優化程式運算，最後求得 薄膜樣品的光學常 數。 本研究將利用自製簡式椭偏儀架構搭配MATLAB優化程式設計可快速量 測薄膜的光學常數，有利於提供薄膜製程及膜層設計的參數 以提升鍍膜品質。 實驗將檢測不同薄膜樣品，最後會以包絡法 來比較此方法之準確性。 (二研究動機與研究問題) 橢圓偏振技術[3]為一種精密且多功能的光學技術，已被運用在許多不 同領域上，在薄膜性質測量技術上，其具有敏感、非破壞與非接觸上的優點。 對於薄膜研究與應用而言，薄膜光學常數之折射率(n) 、消光係數(k) 、薄膜物 理厚度(d) ，均會影響光在通過薄膜系統時的傳播特性，有鑑於此，取得 未知 薄膜樣品的光學常數對於製程技術上是相當重要的，量測方法有橢圓偏振 (Ellipsometry) 、包絡法(The Envelope Curve Fitting) 、反射率-透射率法 (Reflectance-Transmittance Method) ，其中反射率-透射率法是量測薄膜 對垂直 1 入射的透射率、反射率及厚度，而後求出薄膜的n 、k值 ，所以必須先得知薄 膜厚度 (d) ，並且會出現許多n 、解的狀況；而包絡法有只能測量弱吸收材料k 樣品的限制，且對於膜厚較薄或是斜向沉積薄膜樣品，皆無法量測正確的光 學常數，而椭偏儀就能彌補包絡法之不足。 傳統椭偏儀是以歸零法為量測機制，此法需要尋找樣品反射光強度最弱 的角度，因此相當費工，本研究 將以光度法為量測機制的簡式椭偏儀架構， 此架構不需安裝補償片，因此可節省成本和架構簡單化，透過簡易的量測方 式，調整不同的起偏片與檢偏片角度，求得各樣品的椭偏參數值，再使用 MATLAB軟體 進行數值運算，將量測樣品所得之光強度值做疊代計算， 並利 用 MATLAB優化程式提高測量 光學常數的 準確性 。 (三)文獻回顧與探討 橢圓偏振技術為一種測量薄膜光學常數的技術，光源經由進入偏振片時 產生偏極化光束，此偏極化光束入射樣品表面，其反射光和透射光會因樣品 之光學特性而不同，藉由量測其光偏極態的改變來推算其光學常數[4] ，此種 方法稱為橢圓偏振技術，而此實驗儀器稱為橢圓偏振儀(椭偏儀) 。根據操作 原理不同，一般可分為三類歸零式、光度式和調變式椭偏儀。: 歸零式椭偏儀其架構和量測方式皆為最傳統方式，也因此其量測技術較 為完整。歸零式架構的實驗流程為藉由調整起偏片和檢偏片，並固定補償片 2 的角度，使光源完全消失，當偵測器無法量到光強度時，記下此三個元件之 方位角，推算出橢偏參數Ψ(psi)和Δ(delta) ，進而解算出待測樣品之光學常數。 歸零式椭偏儀的儀器架構單純，且具備操作原理簡單的優點，但在實際操作 時必須找到光強度為零的位置，故需具備靈敏度極高的光強度偵測器，也因 此較為不便且耗時較長 。 光度式椭偏儀主要是以光強度振幅的變化作為量測資料，分為旋轉光度 式和一般光度式椭偏儀。旋轉光度式椭偏儀主要特別在量測過程中，起偏片 或檢偏片會以低速的連續旋轉，結合微電腦將偵測器所測到的時間函數訊號 經由傅立葉分析求得Ψ(psi)和Δ(delta) ，進而解出光學常數。此方法優點為自 動化以及所使用的光學元件較少，但其旋轉時會使光線有小的橫向位移，容 易造成光路差 [5]。一般光度式椭偏儀是以調整起偏片和檢偏片的方位角，找 出相對的三個位置求出個別的光強度，再將三個光強度代入理論公式求得橢 偏參數 Ψ(psi)和Δ(delta) ，最後求得光學常數[6] 。一般光度式椭偏儀之架構 較歸零式椭偏儀簡單，而且在量測時可節省時間去找最小亮度點，只需要測 得三個相對位置方位角之光強度或搭配多入射角量測 [7] 。 調變式椭偏儀 [8]之架構起偏片和檢偏片是固定的，入射光經起偏片後便 產生偏極化，而此偏振 光經