介质多层膜热处理分析.pdfVIP

下载本文档

5
0
约2.45万字
约 6页
2017-07-10 发布于北京
举报
版权申诉

介质多层膜热处理分析.pdf

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

介质多层膜热处理分析.pdf

第卷第期光学精密工程 13 1 Vol.13 No.1 O tics and Precision En ineerin 年月 p g g 2005 2 Feb.2005 文章编号 ( ) 1004-924X 2005 01-0022-06 介质多层膜热处理分析 1 2 1 1 1 王成 !高延军 !肖孟超 !张贵彦 !钱龙生中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春 # 1. 130033 2.吉林大学电子科学与工程学院!吉林长春 130023$ 摘要!由薄膜压缩应力产生模型和薄膜总应力的组成出发9分析了要改变薄膜的本征应力热处理必须有足够的能量即激活能O当热处理能量低于激活能时9只能改变薄膜热应力9与处理时间无关O热应力与处理温度有线性关系9建立了波长变化量与温度变化量间的关系模型O当热处理能量高于激活能时9本征应力改变9进而波长的改变与时间有关O实验结果表明9从的各 9 9 保温处理下9波 200 300 1 2 5 h ～长从线性地增大到 9波长变化与处理时间无关O在分别进行 9 9 的处理情 1.4 nm 4.15 nm 350 1 2 5 h 况下9波长的改变量分别为 9 9 O保温时间短的9波长增量也小O 各种处 4.75 nm 5.07 nm 5.7 nm 400 理时9波长的改变基本上与350 的处理结果类似O充分说明了在较低温度处理时9薄膜应力只有热应力的改变S较高温度处理时9本征应力才会改变O 关键词!光学薄膜!热处理!热应力中图分类号! 文献标识码! O436 A Annealin anal sisof dielectric thin filmg y