TEM Report 硕研机械一甲M9910112 蔡雅雯.DOC

Basic Operation and Analysis of Au nanoparticles 任課教師：王聖璋 博士 班級：碩研機械一甲 學號：M9910112 姓名：蔡雅雯 TEM Report 碩研機械一甲M9910112 蔡雅雯 組件功能說明： (1) 電子鎗：與掃描式電子顯微鏡一樣，有鎢絲與六硼化鑭熱游離式、冷場與熱 場發射式和蕭特基發射式。主要功能是產生電子束，提供依高能量、足夠亮度，且穩定的光源。 (2) 電磁透鏡系統－包括聚光鏡 (Condenser lens)、物鏡 (Objective Lens)、中間 鏡(Intermediate Lens)、和投影鏡 (Projective Lens)。 ａ. 聚光鏡：在於調整電子鎗發出的電子束，使其均勻地或集中地，垂直地 或傾斜地射入試片。 b. 物鏡：TEM中最主要的透鏡組，同時也是試片置入的地方，主要功能在使通過試片的電子凝聚成繞射圖案和放大的影像。 c. 中間透鏡：在於將電子繞射圖案或影像放大，並傳送至投影透鏡。 d. 投影透鏡：以中間透鏡的「像」做為「物」，放大並投影於螢光平或其他影像探測器上。 (3) 光圈：一般TEM有四組光圈，分別置於第一聚光鏡後、第二聚光鏡後、物 鏡後聚焦面和第一成像面。置於第一聚光鏡後的光圈，主要在改變電子束大 小和濾去偏離光軸太遠的電子，以增加電子束的品質，提升相干性，降低能 量散佈範圍。置於第二聚光鏡後的光圈，則可以改變電子束大小和到達試片 的收斂角。置於物鏡後聚焦面的光圈，稱為物鏡光圈，是最重要的一組光圈。 其功能包含：1.過濾偏離物鏡光軸太遠的電子，改善影像的聚焦狀況；2.提高 影像的對比；3.選擇只有直射電子束或單一繞射電子束，形成明場像或暗場 像。置於第一成像面上的光圈，稱為選區光圈，用來選擇形成電子繞射圖案 的區域。 (4) 螢光屏：螢光屏上塗有螢光物質(ZnS)，當電子束打到螢光物質時，會激發螢 光物質使其放出綠色的可見光，因此可將投射透鏡放大的電子影像或繞射圖 案轉換成可見光影像。 (5) 試片室：在於承載試片，置入TEM中，並提供平移和傾斜功能，使有分析價值的區域移到螢光屏中心，和傾斜至適當的繞射條件。試片基座(Sample Holder) 可分兩類：側面置入 (Side Entry) 和上方置入 (Top Entry)，若需作臨場實驗則可依需要配備可加熱、可冷卻、可加電壓或電流、可施應力、或可變換工作氣氛的特殊設計基座。 Present the JCPDS file of the Au, index the diffraction pattern. The Au JCPDS file The diffraction pattern of the Au Compare the image conditions of bright field(with or without OBJ aperture),dark field and center-dark field condition. 無物鏡明場像(無OBJ)：所呈現之影像品質較差，粒子表面較模糊灰暗。 物鏡明場像(有OBJ)：所呈現之影像品質較佳，粒子表面較清晰，明視野影像中重元素會呈現黑色，輕元素會呈現白色。 視野影像中重元素呈現白色，輕元素則呈現黑色。 Indexing the ring pattern of every ring’s (h k l) and the d spacing of the planes, compare the d values with the theoretical value in JCPDS file. 理論值 計算值 誤差值 (1 1 1) 2.35 ? 2.127? 9.4% (2 0 0) 2.03 ? 1.886? 7.09% (2 2 0) 1.44 ? 1.31? 8.61% (3 1 1) 1.23 ? 1.123? 8.69% 平均值 1.7625? 1.612? 8.448% Calculated the camera length of the TEM, compared with the default values. 理論值 計算值 誤差值 (1 1 1) 200mm 199.938mm 0.031% (2 0 0) 200mm 199.916mm 0.042% (2 2 0) 200mm 200.032mm 0.016% (3 1 1) 200mm 199.894mm 0.053% 平