具次波长空间解析度之振动检测用显微型近场光学干涉仪系统的设计.PDF

行度 度 度精 類 行 年年 行 立 力 李 論 理 不 年 第二年期中報告報告內容 摘要 近場光學顯微鏡對於現今奈米尺度量測上有高空間解析的能力，是分析次波長微 結構不可或缺的工具。因其空間解析度受限於光纖探針的尺寸，為近場光學顯微 鏡中關鍵部份，本計劃達到用雷射融拉奈米尺度探針，並能精密黏著於石音音 叉，完成探針自製能力。為了提升近場光學顯微鏡的能力，利用干涉儀的方式來 獲得近場光學的相位，亦完成了初步的驗證。 關鍵字 : 近場光學顯微鏡、近場光學、干涉儀、相位、外差式干涉 Abstract