具次波长空间解析度之振动检测用显微型近场光学干涉仪系统的设计.PDF

行度 度 度精 類 行 年年 行 立 力 李 論 理 不 年 第二年期中報告報告內容 摘要 近場光學顯微鏡對於現今奈米尺度量測上有高空間解析的能力，是分析次波長微 結構不可或缺的工具。因其空間解析度受限於光纖探針的尺寸，為近場光學顯微 鏡中關鍵部份，本計劃達到用雷射融拉奈米尺度探針，並能精密黏著於石音音 叉，完成探針自製能力。為了提升近場光學顯微鏡的能力，利用干涉儀的方式來 獲得近場光學的相位，亦完成了初步的驗證。 關鍵字 : 近場光學顯微鏡、近場光學、干涉儀、相位、外差式干涉 Abstract Near-field scanning optical microscope (NSOM) has advantages such as high spatial resolution, which makes it a powerful tool for nano-scale measurement and subwavelength structure analysis. As the spatial resolution is restricted by the diameter of fiber tip, which is critical for NSOM, this project has completed nano-scale fiber tip technique implementation by using laser pulling. This newly developed technique fiber tip was shown to be effective by sticking them onto the tuning fork precisely to verify the overall system performance. In order to further enhance the NSOM resolution and metrology capability, we have integrated interferometer with NSOM to retrieve phase information for near-field optics. The preliminary experimental results obtained verified the theoretical predictions reasonably well. Keywords: Near-field scanning optical microscope, near-field optics, interferometer, phase, heterodyne interference 1.前言 顯微技術，在量測材料表面細微結構佔有舉足輕重的地位。其中，電子顯 微鏡自西元 1938 年第一部商用電子顯微鏡- 穿遂式電子顯微鏡TEM（transmission electron microscope ）問世，至今其解析力已可達數個埃（Å ）之原子等級；另一 種為研究物體表面結構及成分的分析利器為電子顯微鏡 -掃描式電子顯微鏡 SEM （scanning electron microscope ），其橫向解析度亦可達幾個nm 等級，在材料領域 及半導體研發上有廣泛的使用。儘管已有如此高倍率、高解析度的電子顯微鏡可 供人們使用，但由於電子顯微鏡的購置與維護成本過高、操作手續繁複，以及為