机械制造Ⅱ教师手册-第13章.DOC

第13章 新興製造技術 一　相關知識補充 1.　超精密加工 微細製造是指製造微小化零件及產品的技術，若以最小加工精度來說，則可以區分為一般加工、精密加工及超精密加工。超精密加工一詞，對照於不同年代的加工技術，可說是相對性的。如圖13-1所示，1750年代時，加工的精度上限約為1cm，但因為當時的技師，創新研發了可以將加工精度控制在1mm左右「超精密」搪孔機，因此瓦特得以製造出效率較高的實用型蒸氣機，然而進入光電時代的今天，超精密加工的精度，已進展至以1nm為目標。 圖13-1　加工方法與精度之演進 使用超精密加工法的目的，是在製作出製品的精密形狀、尺度與表面粗糙度，加工的基本類型有切削（車、銑、搪、鑽）、研磨及拋光等三類。切削所使用的刀具以機械性質較佳的單晶鑽石為主，工具機亦需具有超高之定位精度及鋼性，整體來說相關的技術如圖13-2所示，這些相關技術需不斷的改良與進步，才能使超精密加工的精度，一再地向前超越。 圖13-2　超精密加工的相關技術 超精密加工的用途，最初是美國軍方為了生產光學鏡片，使用單點鑽石刀具，成功的對電解銅進行鏡面加工，如今超精密加工的需求及應用日益增加，以超精密車削而言，可製造出形狀誤差小於0.1m、表面粗糙度小於0.010m的表面（不須再加拋光處理），常用於精密光學鏡片、光學透鏡所需之精密模具、人工水晶體及硬碟磁片、雷射印表機滾筒的製作。 2.　奈米科技—汽車觸媒劑轉換器 汽車觸媒劑轉換器係運用奈米科技，將引擎所排廢氣中的一氧化碳、碳氫化合物、氮氧化物等對人體及環境有害的物質，淨化處理後再由排氣管末端排出的裝置。 觸媒劑轉換器裝置介於引擎排氣出口與排氣管末端之間。觸媒轉換器內部是由許多直徑僅有數奈米nm）的鉑Pt）、釕Rh）、鈀Pd）等貴重金屬粒子所組成，但只有貴重金屬粒子是無法安定存在的，所以這些粒子是被固定在表面積較大的載體及輔助觸媒粒子的表面。 廢氣在未通過觸媒轉換器之前，含有數ppm1/百萬至數%1/100）的碳氫化合物HC）、一氧化碳CO）及氮氧化物NOX）等有害物質，當這些有害物質通過觸媒轉換器之後，上述奈米粒子便可將其吸附、經反應後淨化成水H2O）、二氧化碳CO2）及氮N2）等無害的物質，再由排氣管排放至大氣中，如圖13-3所示。二　隨 堂 練 習 13－1　半導體製程簡介 （　C　）1. 導電能力介於導體和絕緣體之間的材料稱之為　(A)非導體　(B)介導體　(C)半導體　(D)超導體。 （　A　）2. 奈米是下列何種單位？　(A)長度單位　(B)重量單位　(C)壓力單位　(D)電流單位。 解析：1奈米為109公尺。 A)抽製　(B)拉晶　(C)抽拉　(D)種晶。 解析：晶棒通常使用CZ法製作，稱為拉晶或長晶。 （　C　）4. 有關微影製程的順序，下列何者正確？　(A)顯影→光阻塗布→曝光　(B)顯影→曝光→光阻塗布　(C)光阻塗布→曝光→顯影　(D)曝光→顯影→光阻塗布。 （　D　）5. IC 封裝最常使用下列何種材料？　(A)尼龍　(B)電木　(C)聚乙烯　(D)環氧樹脂。 13－2　微細製造簡介 （　B　）6. 結合IC、微感測器及微致動器，具有特定功能的系統稱之為　(A)自動化系統　(B)微機電系統　(C)積體電路　(D)精微機械製造系統。 （　D　）7. 下列哪一項是LIGA製程不可缺少的技術？　(A)微車削　(B)微銑削　(C)放電加工　(D)電鑄。 （　C　）8. 精微機械製造的尺度範圍，介於下列何者之間？　(A)1m～1cm　(B)10cm～1cm　(C)10mm～0.5mm　(D)100nm～1nm。 （　C　）9. 奈米製造的尺度範圍，介於下列何者之間？　(A)0.1～10奈米　(B)1～10奈米　(C)1～100奈米　(D)10～1000奈米。 （　D　）10. 蓮葉表面具有自潔功能，是因為具有下列何種結構？　(A)晶體結構　(B)蜂巢狀結構　(C)網狀結構　(D)奈米結構。 13－3　其他製造技術 （　D　）11. 下列何者不是製作原型的用途？　(A)提供設計確認　(B)功能測試　(C)模具開發　(D)大量生產。 （　A　）12. 快速原型技術的簡稱是　(A)RP　(B)PR　(C)RO　(D)TC。 （　B　）13. 逆向工程的簡稱為　(A)RP　(B)RE　(C)RO　(D)RA。 三　自 我 評 量 選擇題 （　D　）1. 奈米的單位為　(A)1×m　(B)1×m　(C)1×m　(D)1× m。 （　A　）2. 在IC製程中，最常使用的氧化薄膜是　(A)二氧化矽　(B)氧化鋁　(C)氧化鉻　(D)氮化鈦。 （　A　）3. IC中的線路及元件製作，正確的步驟為　(A)薄膜製作→微影製程→蝕刻→離子植入　(B)微影製程→薄膜製作→蝕刻→離子植入　(C)蝕刻→離