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机械制造Ⅱ教师手册-第13章
第13章 新興製造技術
一 相關知識補充
1. 超精密加工
微細製造是指製造微小化零件及產品的技術,若以最小加工精度來說,則可以區分為一般加工、精密加工及超精密加工。超精密加工一詞,對照於不同年代的加工技術,可說是相對性的。如圖13-1所示,1750年代時,加工的精度上限約為1cm,但因為當時的技師,創新研發了可以將加工精度控制在1mm左右「超精密」搪孔機,因此瓦特得以製造出效率較高的實用型蒸氣機,然而進入光電時代的今天,超精密加工的精度,已進展至以1nm為目標。
圖13-1 加工方法與精度之演進
使用超精密加工法的目的,是在製作出製品的精密形狀、尺度與表面粗糙度,加工的基本類型有切削(車、銑、搪、鑽)、研磨及拋光等三類。切削所使用的刀具以機械性質較佳的單晶鑽石為主,工具機亦需具有超高之定位精度及鋼性,整體來說相關的技術如圖13-2所示,這些相關技術需不斷的改良與進步,才能使超精密加工的精度,一再地向前超越。
圖13-2 超精密加工的相關技術
超精密加工的用途,最初是美國軍方為了生產光學鏡片,使用單點鑽石刀具,成功的對電解銅進行鏡面加工,如今超精密加工的需求及應用日益增加,以超精密車削而言,可製造出形狀誤差小於0.1m、表面粗糙度小於0.010m的表面(不須再加拋光處理),常用於精密光學鏡片、光學透鏡所需之精密模具、人工水晶體及硬碟磁片、雷射印表機滾筒的製作。
2. 奈米科技—汽車觸媒劑轉換器
汽車觸媒劑轉換器係運用奈米科技,將引擎所排廢氣中的一氧化碳、碳氫化合物、氮氧化物等對人體及環境有害的物質,淨化處理後再由排氣管末端排出的裝置。
觸媒劑轉換器裝置介於引擎排氣出口與排氣管末端之間。觸媒轉換器內部是由許多直徑僅有數奈米nm)的鉑Pt)、釕Rh)、鈀Pd)等貴重金屬粒子所組成,但只有貴重金屬粒子是無法安定存在的,所以這些粒子是被固定在表面積較大的載體及輔助觸媒粒子的表面。
廢氣在未通過觸媒轉換器之前,含有數ppm1/百萬至數%1/100)的碳氫化合物HC)、一氧化碳CO)及氮氧化物NOX)等有害物質,當這些有害物質通過觸媒轉換器之後,上述奈米粒子便可將其吸附、經反應後淨化成水H2O)、二氧化碳CO2)及氮N2)等無害的物質,再由排氣管排放至大氣中,如圖13-3所示。二 隨 堂 練 習
13-1 半導體製程簡介
( C )1. 導電能力介於導體和絕緣體之間的材料稱之為 (A)非導體 (B)介導體 (C)半導體 (D)超導體。
( A )2. 奈米是下列何種單位? (A)長度單位 (B)重量單位 (C)壓力單位 (D)電流單位。
解析:1奈米為109公尺。
A)抽製 (B)拉晶 (C)抽拉 (D)種晶。
解析:晶棒通常使用CZ法製作,稱為拉晶或長晶。
( C )4. 有關微影製程的順序,下列何者正確? (A)顯影→光阻塗布→曝光 (B)顯影→曝光→光阻塗布 (C)光阻塗布→曝光→顯影 (D)曝光→顯影→光阻塗布。
( D )5. IC 封裝最常使用下列何種材料? (A)尼龍 (B)電木 (C)聚乙烯 (D)環氧樹脂。
13-2 微細製造簡介
( B )6. 結合IC、微感測器及微致動器,具有特定功能的系統稱之為 (A)自動化系統 (B)微機電系統 (C)積體電路 (D)精微機械製造系統。
( D )7. 下列哪一項是LIGA製程不可缺少的技術? (A)微車削 (B)微銑削 (C)放電加工 (D)電鑄。
( C )8. 精微機械製造的尺度範圍,介於下列何者之間? (A)1m~1cm (B)10cm~1cm (C)10mm~0.5mm (D)100nm~1nm。
( C )9. 奈米製造的尺度範圍,介於下列何者之間? (A)0.1~10奈米 (B)1~10奈米 (C)1~100奈米 (D)10~1000奈米。
( D )10. 蓮葉表面具有自潔功能,是因為具有下列何種結構? (A)晶體結構 (B)蜂巢狀結構 (C)網狀結構 (D)奈米結構。
13-3 其他製造技術
( D )11. 下列何者不是製作原型的用途? (A)提供設計確認 (B)功能測試 (C)模具開發 (D)大量生產。
( A )12. 快速原型技術的簡稱是 (A)RP (B)PR (C)RO (D)TC。
( B )13. 逆向工程的簡稱為 (A)RP (B)RE (C)RO (D)RA。
三 自 我 評 量
選擇題
( D )1. 奈米的單位為 (A)1×m (B)1×m (C)1×m (D)1× m。
( A )2. 在IC製程中,最常使用的氧化薄膜是 (A)二氧化矽 (B)氧化鋁 (C)氧化鉻 (D)氮化鈦。
( A )3. IC中的線路及元件製作,正確的步驟為 (A)薄膜製作→微影製程→蝕刻→離子植入 (B)微影製程→薄膜製作→蝕刻→離子植入 (C)蝕刻→離
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