立体光刻技术-影像科学与光化学.PDF

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立体光刻技术-影像科学与光化学

15 3 Vol. 15, No. 3 1997 8 PHOT OGRAPHIC SCIENCE AND PHOT OCHEMIST RY Aug. , 1997 综 述 * * * 洪啸吟   孟怀东  阴金香 ( , 10008 ) 立体光刻, 光敏树脂, 模型制造, 增感 [ 1] : , . , ( , ) , . . , , CAD , , ( 1) . 1 , , : , P1 P2 PN N d : 1997 1 8 , 1997 3 19 . * ( : 596350 0) * * 276 3 : 277 [ 2] , , , , , , . , : ( 1) , ; ( 2) , , ; ( 3) , , , , ; ( ) , ; ( 5) , ; ( 6) . [ 3] , : ( 1) : , ; ( 2) : , , ; ( 3) : ; ( ) : ; ( 5) : ; ( 6) : ; ( 7) : , . 1[ ] , , : 1. 1 : ( 1) , He-Cd Ar . : / nm / mV - 325 225 , 1 , , He Cd kW Ar ( 331) 351, 36 300700 , 1530 kW, , ( 2) XY ; ( 3) ; ( ) ; ( 5) ; ( 6) ; ( 7) . 1. 2 , CAD . , , . , . , , , . , ; , . 278 15 2 , , , , . : , , , , , , , , . c , E ( ) , , , , . d . , ( ) = 0 - E[ I]L ( 0 Beer L E L E e E , , , ( ) c, E E L E = ( ) , ( ) = 0 - E[I]d = c, , 0/ c= E[ I

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