多晶硅薄膜制备工艺研究.pdfVIP

摘要 作为绿色能源，太阳能电池在能源危机和环境危机的今天，突显其研究和 应用价值。多晶硅薄膜集晶体硅和非晶硅材料优点于一身，克服了光致衰退，与 现有的太阳能电池研究生产技术具有兼容性，有可能成为制作太阳能电池的廉价 优质材料。 等离子体辅助化学气相沉积方法(PECVD)是制备薄膜材料的几种方法中 技术最为成熟、操作较为简单的一种，并且可以制各均匀性高的大面积薄膜。但 是采用PECyD方法沉积多晶硅薄膜仍面临着两大难题：一是薄膜的晶化率有待 提高；二是薄膜的生长速率也有待提高。薄膜的晶化率决定电池的性能，生长速 率决定其成本，因此高速制各优质薄膜是制作太阳能电池的关键。为解决这些问 题，目前研究人员多致力于沉积条件的优化以及如“二次晶化”等辅助手段的 采用。 本文采用PECVD方法，系统研究了沉积温度、衬底、射频功率、氢稀释比、 磷掺杂等沉积参数对多晶硅薄膜结晶状态及光电性能的影响，并对沉积出的多晶 硅薄膜进行了固相晶化。结果表明：1)在一定范围内随着沉积温度的升高、射 频功率的增大、硅烷含量的降低，薄膜的晶化率提高；但进一步提高温度、射频 功率反而会使薄膜晶化效果变差。硅烷含量的降低大大减慢沉积速率。2)衬底 的导电性能、及表面形貌对薄膜的晶化率有很大的影响。3)快速光退火与常规 炉子退火的结果有一定的差异：4)磷掺杂导致沉积时晶化率降低，但对固相晶 化有利。5)晶化越好薄膜的暗电导越大，光学带隙越小，逐渐靠近晶硅的带隙。 发现固相晶化后的薄膜表面出现孔洞，建立理论模型给出解释。固相晶化后样品 的反射谱显示它同时起到一定的减反射功能。 关键词：太阳能电池，等离子增强化学气相沉积(PECVD)，沉积参数，固相 晶化 Ⅱ Abstract Solarcellasone of kind resource exhibits role of greenenergy because important the resourcacrisisandenvironmental silicon thinfilm crisis．Polycrystalline possesses theexcellencesof both siliconand thinfilmsilicon．Itnot crystalline amorphous only isimmune alsocanbe from“optical—induceddegradation’’but withthe compatible solarcell is and existing technology．Itpromising excellentmaterialforsolar cheap cell． Plasmaenhanced chemical oneof