光学薄膜的椭圆偏振模型分析与数据处理.PDF

第 37 卷 增刊 光 子 学 报 Vol.37 Sup.2 2008 年 12 月 ACTA PHOTONICA SINICA December 2008 光学薄膜的椭圆偏振模型分析与数据处理 王青, 沈华, 王卫 （南京理工大学 电子工程与光电技术学院 南京 210094 ） 摘 要：通过对光学薄膜的椭偏光谱分析，研究了光学薄膜系统的模型（结构模型和色散模型）建 立方法，并应用模拟退火算法（ ）来反演椭偏光谱测量数据介绍了程序算法的建立与程序的编 SA . 制，并对标准薄膜样品和自制样品进行测量和数据处理. 实验结果表明，在可见光波段，折射率误 差小于0.01 ，消光系数误差小于3×10-4. 关键词：光学薄膜； 椭圆偏振测量； 薄膜参数； 模拟退火算法 中图分类号：O484.5 文献标识码：A 0 引言 大，这时就需要对上面建立的结构模型按现有的认知 （考虑膜层的缺陷与非均匀性问题）进行修正如采 . 光学薄膜的测试，从宏观到微观，一般采用光度 用图 1的模型，虽然增加了复杂程度而难以进行反演 法[1] （测量透过率、反射率等）、椭圆偏振法（测量 计算，但在采用数值分析的方法中，是获得更为精确 折射率 、消光系数 和薄膜厚度 ）以及原子力显微 n k d 的结果必不可少的. 镜法（直接测量物质结构的微观）进行 其中椭圆偏 . 振法[2-3]可以直接获得薄膜的光学常数与分层结构， (1) 环境（空气）； 对于镀膜技术的研究与改进可以说是最重要的 椭圆 . (2) 表面粗糙度层； 偏振法的实质，是将复杂的光学问题变成数学问题， (3) TiO2 薄膜层1； 即建立合理的数学物理模型，然后利用数学理论与方 (4) 中间层（interface ）； 法，将各个参数进行优化，使之无限逼近现实的测量 (5) TiO2 薄膜层2 ； 结果 这其中的关键是利用 方程组推导出的 (6) 基底（玻璃）； . Maxwell 光学导纳矩阵，对薄膜在分层介质中光的传播规律进 图1 TiO 单层膜的椭偏分析模型 行准确描述[4].这种描述，就是由构成光学薄膜系统的 2 Fig.1 Ellipsometry Analysis Model of Single Layer Film 参数（n 、 、 ）和测量状态参数（入射角、偏振态、 i ki di 椭偏法测量的优势还在于可以获得巨大的信息 波长），通过公式推导获得椭偏参数 和 的过程，这