新型酞菁有机半导体材料的制备及气敏性研究-哈尔滨工业大学学报.PDF

第１９卷　第２期 材　料　科　学　与　工　艺 Ｖｏｌ１９ Ｎｏ２ 　 　 ２０１１年４月 ＭＡＴＥＲＩＡＬＳＳＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ａｐｒ．，２０１１ 　　　　　　 新型酞菁有机半导体材料的制备及气敏性研究 １，２ １ ３ ４ 李　赞 ，吴晓宏 ，姜文锐 ，施云波 （１．哈尔滨工业大学 理学院，哈尔滨 １５０００１；２．哈尔滨学院生命科学与化学学院，哈尔滨 １５００８６；３．哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨 １５０００１；４．哈尔滨理工大学 测控技术与通讯工程学院，哈尔滨 １５００８０） 摘　要：针对无机半导体气体传感器材料可修饰性差、工作温度高等缺点，开展了新型金属酞菁类有机半导 体气敏材料的研究，并对敏感材料进行了表征，测试结果与化学结构和理论值一致．采用微电子工艺制备平 面叉指电极，采用旋涂技术，在叉指电极上形成敏感膜，对制备的旋涂膜进行红外光谱（ＩＲ）和原子力扫描电 镜（ＡＦＭ）表征，ＡＦＭ图像表明薄膜表面均匀、平滑和致密．按照静态法测试了薄膜对ＮＯ 气体的气敏特性， ２ 结果表明，在室温和５０℃时质量浓度为６．５ｍｇ／ｍＬ的ＰｂＰｃ（ ＰｅＯ）旋涂膜相较于ＣｕＰｃ（ ＰｅＯ）、 ｉｓｏ ｉｓｏ ８ ８ ＮｉＰｃ（ ＰｅＯ）旋涂膜表现出对ＮＯ 气体更好的敏感性和响应恢复性． ｉｓｏ ８ ２ 关键词：有机半导体；气敏材料；ＮＯ ２ 中图分类号：Ｏ６４７１ 文献标志码：Ａ 文章编号：１００５－０２９９（２０１１）０２－０１０８－０５ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎａｎｄｇａｓｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙｓｔｕｄｙｏｆｎｅｗｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ ｏｒｇａｎｉｃｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍａｔｅｒｉａｌｓ １，２ １ ３ ４ ＬＩＺａｎ ，ＷＵＸｉａｏｈｏｎｇ，ＪＩＡＮＧＷｅｎｒｕｉ，ＳＨＩＹｕｎｂｏ （１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ；２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＬｉｆｅＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＣｈｅｍｉｓｔｒｙ， ＨａｒｂｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５００８６，Ｃｈｉｎａ；３．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ；４．ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＣｅｎｔｅｒｆｏｒＰｏｓｔ－ｄｏｃｔｏｒａｌＳｔｕｄｉｅｓ， ＨａｒｂｉｎｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５００８０，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｐｏｏｒａｄｊｕｓｔｍｅｎｔａｎｄｈｉｇｈｏｐｅｒａｔｉｎｇｔｅｍｐｅｒａｔ