溶液沉积平整化工艺用于制备第二代高温超导带材的研究进展-材料导报.PDF

溶液沉积平整化工艺用于制备第二代高温超导带材的研究进展／储静远等 ·１０９· 溶液沉积平整化工艺用于制备第二代高温超导带材的研究进展 储静远，赵 跃，吴 蔚，洪智勇，金之俭 　 　 （上海交通大学电子信息与电气学院，上海 ２００２４０） 摘要　　低成本制备高性能第二代高温超导带材是实现其产业应用的基础。离子束辅助沉积技术由于具有对 金属基带材料依赖弱、产生的织构度高、生产速度快等优点而被广泛使用。在该工艺中，如何获得原子级平整的金属 基底，进而获取优良织构的缓冲层一直是科学家关注的焦点。近年来，溶液沉积平整化（ ）作为一种新型的基底 ＳＤＰ 平整化处理方式，以其特有的成本低廉、生产高效等优势越来越被各国所重视。系统地介绍了ＳＤＰ工艺的发展历史 和基本原理，总结了近几年来国内外科研机构对ＳＤＰ工艺研究的主要内容及最新进展。 关键词 第二代高温超导带材 薄膜生长 溶液沉积平整化 离子束辅助沉积 　 　 　 　　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＢ３４ Ａ 犇犗犐１０．１１８９６．ｉｓｓｎ．１００５０２３Ｘ．２０１６．２３．０１６ 　　 　　 ｊ 犛犲犮狅狀犱犌犲狀犲狉犪狋犻狅狀犎犻犺犜犲犿 犲狉犪狋狌狉犲犛狌犲狉犮狅狀犱狌犮狋犻狀 犜犪犲狊犘狉犲犪狉犲犱犫 犵 狆 狆 犵 狆 狆 狔 ： 犛狅犾狌狋犻狅狀犇犲狅狊犻狋犻狅狀犘犾犪狀犪狉犻狕犪狋犻狅狀犘狉狅犮犲狊狊犃犚犲狏犻犲狑 狆 ， ， ， ， ＣＨＵＪｉｎ ｕａｎ ＺＨＡＯＹｕｅＷＵＷｅｉＨＯＮＧＺｈｉｏｎ ＪＩＮＺｈｉｉａｎ ｇｙ ｙ ｇ ｊ （ ， ， ） ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＳｈａｎｈａｉＪｉａｏＴｏｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｓｈａｎｈａｉ２００２４０ ｇ ｇ ｇ ｇ ｙ ｇ 犃犫狊狋狉犪犮狋 Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｌｏｗｃｏｓｔｓｅｃｏｎｄ ｅｎｅｒａｔｉｏｎｈｉｈｔｅｍ ｅｒａｔｕｒｅｓｕｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎ ｔａｅｓｗｉｔｈｈｉｈｅｒ 　　 ｇ ｇ ｐ ｐ ｇ ｐ ｇ ｐ ， ｆｏｒｍａｎｃｅｉｓｔｈｅｆｏｕｎｄａｔｉｏｎｏｆｉｎｄｕｓｔｒｉａｌａ ｌｉｃａｔｉｏｎ．Ａｍｏｎ ａｌｌｔｈｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｒｏｕｔｅｓｉｏｎｂｅａｍａｓｓｉｓｔｅｄｄｅｏｓｉｔｉｏｎｈａｓ