无铅铁电陶瓷电子发射性能X - 强激光与粒子束.PDF

　第 16 卷 　第 12 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ,No. 12 　 　2004 年 12 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS Dec. ,2004 　 文章编号 : 　100124322 (2004) 1221607204 X 无铅铁电陶瓷电子发射性能 陈忠道, 　张树人 , 　蔡雪梅 , 　袁 　颖 , 　郭曙光 ( 电子科技大学 微电子与固体电子学院, 四川 成都 610054) 　　摘 　要 : 　铁电阴极材料 ,作为一种新型的功能材料 , 以其高的发射电流密度等优点而受到重视。鉴于目 前研究的铁电阴极材料多局限于锆钛酸铅等含铅材料 , 作者采用无铅铁电陶瓷 Na Bi TiO 2Ba TiO 1/ 2 1/ 2 3 3 (BNB T) ,进行了电子发射实验 ,获得发射电流密度达 20A/ cm2 。初步实验结果表明 ,与锆钛酸铅相比 ,钛酸铋 钠发射电流密度略低但性能稳定性较好。作为无铅铁电阴极 ,BNB T 仍然具有良好的研究开发价值。 　　关键词 : 　无铅 ; 　铁电阴极 ; 　电子发射 ; 　电流发射密度 ; 　无铅铁电陶瓷 　　中图分类号 : 　O462 　　　　文献标识码 : 　A 　　在高功率真空电子技术发展的过程中 ,强电流铁电阴极由于具有工作真空度低、无预热延迟、电流密度大 , 常温工作的起始束发射度低、高束亮度等一系列有别于传统真空电子器件的优点 , 因而应用于加速器、自由电 子激光器、X2射线源和微波源 ,高功率开关管等 ,可极大地改善系统的品质和效能。铁电阴极材料作为高效坚 固的高能电子束源在各个工程技术领域体现了诱人的应用前景。 ( ) 　　在众多铁电阴极研究材料中 , 由于锆钛酸铅基材料发射电流密度大,故长期以锆钛酸铅 PZT 占主导地 ( ) ( ) 位。然而锆钛酸铅是含铅陶瓷 ,其中氧化铅 PbO 或 Pb O 占原料总质量的70 % 。含铅压电铁电陶瓷在制 3 4 [1～4 ] ( ) 备、使用过程中 ,都会给环境和人类带来危害 。以生态循环评估 LCA 概念衡量 ,PZT 基陶瓷将是一种环 境负担很重的材料。有的国家正在酝酿立法 ,在不久的将来禁止使用含铅压电、铁电材料。据《国际电子商情》 报道 ,到 2006 年 1 月 1 日,所有电子产品都应该是无铅的[5～7 ] 。因此 ,开发无铅的环境协调性铁电阴极材料 , 对于扩大铁电阴极材料研究范围 ,力争逐步取代现有含铅陶瓷 ,是很有意义的研究课题。 　　我们采用 Na Bi TiO 2Ba TiO (BNB T) 基无铅压电陶瓷 ,进行了电子发射实验。初步实验获得的电流 1/ 2 1/ 2