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基片集成波导技术的研究现状和展望.pdf
第23卷第1期 中国计量学院学报 V01.23NO.1
ofChjna of
2012年3月 Journal UniyersityMetrology Mar.2012
【文章编号】 1004—1540(2012)01—0095—10
基片集成波导技术的研究现状和展望
肖丙刚,谢治毅,叶 鹏
(中国计量学院信息工程学院,浙江杭州310018)
【摘 要】综述了基片集成波导(SIW)技术研究的现状和热点.首先分析了SIW的基本理论。包括S1w结构
设计、损耗机制和频带宽度等;然后详细分析了基于S1w的微波和毫米波器件,包括无源器件、有源器件、天
线和可调谐器件;接着对基于SlW技术的器件模拟和制作进行了详细论述l最后对S1w技术应用于太赫兹
器件的设计进行了展望.
【关键词】微波器件,太赫兹,基片集成波导;硅通孔技术
【中图分类号】TN61 【文献标志码】 A
RecentadVancesand of
prOspectsubstrate—integratedwaVeguide
(SIW)TechnoIogy
XIAO
Bing—gang,XIEZhi—yi,YEPeng
oflnfomation 3l0018,China)
(ColIege Engin舱rir堰,ChinaJiliangUniversity,Hangzhou
overviewofrec蚰tadvancesinthe andfabr.cationofSIWstructuresand
Abstnct:An design。modeling
wa8 here.The ofSIW intunablemicrowavedevices
components prospect technologybeingapplied
p托sented
and
andterahertzdeviceswas t00.Thebasic ofSIW thestructure,lossmechanism
presented theory including
of Themicrowaveandmillimeter.wave of
bandwidthSIWwas
analyzedfirstly. componentsconsistingpassive
andtunabledeviceswhicharebasedontheSlW werestudiedin
devices。activedevices,antennas technology
detail.ThesimuIationandfabricationofthedevicesbasedontheSlW werediscu3sed.
technol
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