舅鞠铁质基材反光罩表面蒸镀Al.pdfVIP

、 O～ 真 空 V um— l~ lecn，not．ogyan(…1Nlatert|aajI 。 4O …aco 一Vacuu 舅鞠 铁质基材反光罩表面蒸镀 Al反射膜的工艺研究 蛆 王茂祥 - _ - _ ●_ _ ● ● _ _ 一 (扬州大学工学院真空镀膜 中心j TechnicalStudyonVacuum Evaporation PlatingAIReflectiveFilm on Fe—SubstrateSurface ∞ TheAIfilm onFereflecting—coveraurfaceofsolarheatingtubehasbeenmadebyvacuum Ⅳ evaporation deposition．Inthispaper，theZZW —H1400I facilityisintroducedsimply．Theprocess technologyhasbeenanalyzedandstudied A seriesofmeasurmentsshowsthattheprope~iesofAI g c= 摘 要 采用真空蒸发镀膜的方法 ，在太阳能集热管的铁质金属反光罩的表面，制各 了AI反 _詈 射膜 本文簿单介绍 了生产所采用的Zzw—H1400I大型真空镀膜设备 ，对整十生产过程的工 艺作了分析研究，对所制各的A1膜进行 了测试 ，结果表明，用该工艺所制各的AI反射膜是符 主主题词；铁质基材真空蒸身rAl反射膜I-艺艺 l坠裂触蠢翮 濮lIJ关 一 b 、 引 言 随着太阳能利用的研究的不断发展 ，太阳能热水器正逐渐走进干家万户，而太阳能集热管 的金属反射罩作为太阳能热水器的重要组成部分，其性能的好坏，直接影响到太阳能热水器的 使用效率 以前的反光罩，通常采用镜面不锈钢制成 ，其成本较高。目前 ，大多采用镀锌铁皮 ， 在其反射面粘贴一层镀有 Al膜 的塑料薄膜 ，但经过长期使用 ，在太 阳光的照晒下 ，薄膜容易 起皱 ．影响到使用效果。我们采用抛光后的铁皮作为反光罩的底材，通过磷化、钝化、底漆喷涂 等一系列工艺处理后，再采用真空镀膜的方法，制备一层高反射的Al膜 。经过采样测试表 明， 其性能同样达到了预定的要求。其成本远低于镜面不锈钢板。另外，由于采用真空蒸发成膜技 术．与磁控溅射及等离子体等沉积技术相 比，生产工艺简单，制作方便，蒸镀成本也大为下降。 因此 ．这种方法具有一定的开发 、推广价值 。采用这种工艺 ，我们已经进行 了批量生产 ，结果表 明，生产工艺稳定 ，重复性好 ，能确保产品质量要求。 二 、基材表面的前处理 AI反射膜的生产工艺流程：