真空设备的检漏 - 副本.docxVIP

运行与应用新技术新产品7#83#,4)(/(02*7#8+%#$’%/真空设备的检漏合肥通用机械研究院!安徽张伟陈华锋段成君!!!##$!!!!!摘要介绍了真空检漏的常用方式!并着重介绍了氦质谱检漏的发展方向灵敏度分析及应用以 !!!!及检漏方法!并总结了真空检漏的意义#!关键词真空泄漏率检漏仪检漏!!!!!!中国真空设备行业自改革开放的多年来有了很%$大的发展和长足的进步!这不仅反映在产值产量上的二#借助辅助设备的检漏大幅度增长!而且在品种规格以及综合技术水平上都%荧光检漏将被检容器进行抽空!当容器内变$,!取得了可观的成绩#尤其在电力产品$如高压开关电成负压时在容器外侧怀疑可能有泄漏的区域喷加有一定容器变压器等%制造电子产品$如电子管晶体比例荧光粉的有机溶液$三氯乙烯或四氯化碳%!继续管半导体集成电路等%制造制冷低温行业航天航抽空一段时间后打开容器!用紫外灯照射容器内壁!如空工业以及核工业!真空设备的使用为国家建设做出了有荧光液发光!表明该部位有泄漏!此方法用在容器外贡献!为我国的国民经济建设!科学技术的发展!国防侧无遮挡覆盖的大开口容器检漏比较方便!灵敏度也高新技术的提升做出了贡献#而真空设备的优劣关键表较高!但是要求观察检查人员认真仔细#该检漏方式必现在真空泄漏率上!随之带来的问题便是如何进行真空须借助紫外灯才便于观察#设备的检漏!如何选择检漏方式及检漏仪#%$%高频火花检漏在玻璃系统上!利用高频电火!一#一般检漏方式花真空检漏仪的高频放电线圈所产生的电火花!能集中于漏孔处的现象来确定漏孔位置的检漏方式!通常用它对玻璃系统进行检漏!还可以对橡塑管道!陶瓷管道等 $,%气泡检漏将空气压入被检容器!然后将其浸!一切非导电体的真空系统进行检漏#该检漏方式必须利入水中或者对其可疑表面涂上肥皂液!观察气泡确定漏用高频电火花真空检漏仪放电产生电火花来检测非导电孔位置!该种检漏方法主要用于被检容器的连接处采用体的真空系统的微小漏洞是否有漏的判别方法是’当法兰螺栓连接等可以承受正压的场合!通常用于小型真电火花保持原来的杂乱无章的散射时说明该处无漏孔空设备或真空管路的检漏! #如杂乱的火花形成一股线条!其出现亮点!说明该处有 $%%氨检漏将氨压入被检容器!然后通过观察覆!漏孔另外值得一提的是!采用高频火花检漏时电火花在可疑表面上试纸或试布颜色的改变来确定漏孔位置!不宜在某一处停留过久!以免击穿被检物体#适用场合同气泡检漏!但是氨检漏比气泡检漏的灵敏度要高#三#氦质谱检漏$-,$$*%升压检漏被抽空容器内真空度达到以!氦质谱检漏是一种最常用也是最可靠的真空检漏方下时!在怀疑有泄漏的地方涂抹丙酮等易挥发液体!同式!它是利用氦质谱检漏仪的磁偏转原理对于泄漏气体时观察被抽空容器的压力是否突然有明显的升高来判断氦气灵敏反应!从而确定漏点的检漏方式!该检漏方式该容器是否有泄漏!此方法用在较小容器的检漏时反应充分利用了氦气的强渗透易流动易扩散等性能!检相对灵敏#漏过程不易受干扰!不会误判!反应快!与上述其他检#%年第期!#$!!!!#$%!’新技术新产品运行与应用7#83#,4)(/(02*7#8+%#$’%/测法相比优势明显!因此下面着重介绍一下=2?@6,.6X$%$%,概述C2?@,-6X $.氦质谱检漏产生于世纪年代!历经半个多世%$($式中检漏仪灵敏度!=2?@如图所示!检漏仪接在高真空一侧时!检漏灵敏纪的应用和发展!取得了辉煌的成果!从航空航天#军%度的变化事工业#科学工程#核工业到轻工#医疗#仪器仪表#汽车#制冷!可以说是无处不在真空检漏就其发展来=2?@6%.6X$%$%% C2?@%-说有两个方面!即一方面是检漏仪器本身!另一方面是6X检漏工艺技术的发展目前氦质谱检漏的发展方向 !.$,%氦质谱仪器小型化国内工业水平的不断进步!及基础元器件质量和加工水平的提高!为仪器的小型化创造了条件$%0$%仪器的自动化和智能化在年代仪器自动!化设计的基础上!开发具有自主知识产权的智能化#高质量的仪器#软件是中文的!技术条件是规范的!仪器自动化系统较为完善的检漏仪器$-%仪器高性能和多用途高性能主要体现为仪器时对氦气的抽速6X保持一致为系统参数!一般!=2?@=2?@$%%可看出的高低取决于6,C2?@$,%!可知此时C2?@,%!可知比较有%$!C2?@%2?@*=!的高灵敏度#可靠性#重复性和较快的响应时间和清除不变!从式%和式$,时间!较宽的漏率范围和显示以及结构的模块设计和6%的大小在分流状态!有!即6%**6,C2?@,(氦质谱检漏灵敏度分析与应用+.在次级泵起动进入稳定状态后!一般可将前级泵C2?@%采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容处节流阀关闭!即!由式6,N$器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的而相同条件下!