圆轨迹运动激光非接触测量新方法.pdfVIP

数控机床误差的圆轨迹运动激光非接触测量新方法* 任永强 杨建国 刘国良 倪立峰 （上海交通大学机械与动力工程学院 ） Charles Wang （Optodyne Incorporation, United States ） 摘 要 对数控机床圆运动轨迹的测量是评价机床轮廓加工精度的有效方法之一。传统的测试设备如球杆 仪很难实现在高进给速度下对小半径圆轨迹进行测量。本文介绍的利用激光多普勒位移测量仪可以在比较 高的速度状态下、在半径从 1mm 到 150mm 范围内对数控机床的圆轨迹实现非接触测量，可获得数控机床的 几何误差、反向间隙、伺服系统误差等，并能测得相应的圆半径、进给速度及加速度。本文主要论述采用 这种新方法对数控机床伺服系统控制性能的优劣进行评价。 关键词： 圆轨迹精度、非接触测量、球杆仪、激光多普勒位移测量仪 中图分类号：TH 161 文献标识码：A 现代模具制造业不仅对数控机床的尺寸加工精度提出很高的要求，同时对轮廓精度也提 出了越来越高的条件。实际中我们希望在最高进给速度下加工出满足轮廓精度要求的零件 [1]，这就需要对机床轮廓加工精度性能进行测试。实际中一般都通过机床走圆轨迹来对机床 的轮廓加工精度进行评价[2]，对机床圆轨迹的精度测试是评价机床轮廓加工精度的有效方法 之一。当机床走圆轨迹时，显然参与圆弧插补的两个轴的加速度、速度及位置都经历了正弦 形式的变化，即检测机床圆运动的轨迹精度不仅可以获得与机床的几何精度、位置误差、重 复精度有关的信息，还可以获得与进给速度和伺服控制系统有关的动态误差分量的信息，包 括机床爬行、标尺误差、反向间隙、伺服增益不匹配及由于伺服响应滞后引起的误差。因此， 机床的圆轨迹运动精度能全面地反映出机床的加工性能及误差。 实际中多数模具的曲率半径比 50 毫米小，但加工时进给速率却要求达到每秒几百毫米， 这就需要对机床在高进给率条件下走小圆弧的轮廓加工性能进行测试。对于圆轨迹运动精度 的测量，实际中使用最多的是伸缩式球杆仪，但是伸缩式球杆仪一般的测量半径为 100－600 毫米，因此无法对在一些场合需要的小于半径圆轨迹轮廓精度进行测试。一般来说，圆半径 越小，其轮廓误差中所包含的几何误差很小，因此其轮廓精度越能反映出机床伺服系统性能 的优劣。由于伸缩式球杆仪无法进行小半径圆轨迹运动精度的测量，测出的误差往往是机床 几何误差与伺服控制系统误差的组合，实际中很难正确反映出伺服系统造成的误差，而且球 杆仪只能限于圆轨迹测量，难以揭示机床走复杂轨迹时的动态特性。这里我们提出一种使用 平面反射镜作为标靶的单头激光多普勒位移测量仪[3]进行圆轨迹运动精度的非接触测量新 方法，该方法比传统的球杆仪测量方法相比具有以下优点： (1) 它是非接触测量，测量半径可从 1 毫米一直到 150 毫米（可视平面反射镜的大小而定）， 通过走小半径圆形轨迹可以检测机床伺服系统的优劣。 (2) 可进行数控机床的任何轨迹运动的测量，而传统球杆仪只能进行圆轨迹运动测量。 (3) 测量时无需电缆，可以重复测量任意多圈。与球杆仪相比，也不存在因为摩擦力、连杠 重量等问题造成的机械误差。 (4) 它不仅可以同时测得参与插补运动的两个轴的位移，而且还能直接测得两个轴的进给速 度及加速度。传统的球杆仪只能测得圆轨迹的半径，且只能通过圆轨迹的半径变化间接 高等学校全国优秀博士学位论文专项资金资助项目(200131) 1 获得两个轴的进给速度及加速度。 1．球杆仪的圆轨迹测量 球杆仪由两个精密的金属圆球和一个可伸缩的连 主轴 杆组成，在连杆中间镶嵌着用于检测位移的光栅尺， 如图 1 所示。测量时，一个圆球通过与之只有三点接 (x,y ,z) 触的磁性钢座固定在工作台上，另一个圆球通过同样 的装置安装在主轴上，两球之间用连杆相连接。当机 球杆仪 床在例如X-Y平面上作圆弧插补运动时，固定在工作 台上的圆球