四探针测试技术中边缘修正的有关方法.pdfVIP

第 卷 期 半 导 体 杂 志 年 月 四探针测试技术 中边缘修正 的有关方法 石 俊 生 孙 以 材 云 南师范大学物理 系 。。 河北工业大学 电子工程 系 摘 要 本文对 四探针测试半导体薄层 电阻关于 边缘修正计算 的各种理论 及方法 做 了总结 ,