基于激光测量的高速非接触角度检测技术研究!.pdfVIP

第４７卷　 第５期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４７，Ｎｏ．５ 　 ２０１７年５月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｍａｙ，２０１７ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１７）０５０５９５０５ ·光电技术与系统· 基于激光测量的高速非接触角度检测技术研究 杨梦放，陈　磊，张登伟，黄腾超，周一览，舒晓武，车双良，刘　承 （浙江大学光电信息科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州３１００２７） 摘　要：提出了一种基于光学三角法测距原理的高速非接触光学角度测量方法，利用两个激光 位移传感器测量物体具有角度变化时产生的位移，实时计算得到物体一维运动角度，在摇摆台 上进行角度范围及精度的实验，并使用光纤陀螺进行角度实时同步测量，通过最小二乘拟合法 对误差进行补偿。实验结果表明，该系统的角度测量范围±１０°，角度测量精度±０００５°，测量 频率２０００Ｈｚ。该角度测量技术使用非接触光学测量方法，对被测物体表面无损伤。 关键词：光纤陀螺；高速检测；激光三角法；非接触测量；角度测量 中图分类号：ＴＮ２４９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１７．０５．０１４ Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｈｉｇｈｓｐｅｅｄａｎｄｎｏｎｃｏｎｔａｃｔａｎｇｌｅｄｅｔｅｃｔｉｏｎｂａｓｅｄ ｏｎｌａｓｅｒｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ＹＡＮＧＭｅｎｇｆａｎｇ，ＣＨＥＮＬｅｉ，ＺＨＡＮＧＤｅｎｇｗｅｉ，ＨＵＡＮＧＴｅｎｇｃｈａｏ，ＺＨＯＵＹｉｌａｎ， ＳＨＵＸｉａｏｗｕ，ＣＨＥＳｈｕａｎｇｌｉａｎｇ，ＬＩＵＣｈｅｎｇ （ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｏｄｅｒｎＯｐｔｉｃａｌＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ，ＺｈｅｊｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００２７，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｈｉｇｈｓｐｅｅｄａｎｄｎｏｎｃｏｎｔａｃｔａｎｇｌｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｍｅｔｈｏｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｏｐｔｉｃａｌｔｒｉａｎｇｕｌａｔｉｏｎｄｉｓ ｔａｎｃｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｗａｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄＴｗｏｌａｓｅｒｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒｓｗｅｒｅｕｓｅｄｔｏｍｅａｓｕｒｅｔｈｅａｎｇｌｅｗｈｅｎｔｈｅａｎｇｌｅｏｆ ｔｈｅｔａｒｇｅｔｃｈａｎｇｅｄ，ｗｈｉｃｈｃｏｕｌｄｃａｌｃｕｌａｔｅｏｎｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍｏｔｉｏｎａｎｇｌｅｏｆｔｈｅｔａｒｇｅｔｉｎｒｅａｌｔｉｍｅＴｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｏｆ ａｎｇｕｌａｒｍｅａｓｕｒｉｎｇｒａｎｇｅａｎｄｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｆｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍｗａｓｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｏｎｔｈｅｓｗｉｎｇｔｕｒｎｔａｂｌｅ，ａｎｄｆｉｂｅｒｏｐ ｔｉｃｇｙｒｏｓｃｏｐｅｗａｓｕｓｅｄｔｏｒｅａｌｉｚｅｒｅａｌｔｉｍｅｓｙｎｃｈｒｏｎｏｕｓｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅａｎｇｌｅ，ａｎｄｔｈｅｎｔｈｅｅｒｒｏｒｗａｓｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ ｂｙｔｈｅｌｅａｓｔｓｑｕａｒｅｆｉｔｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄＴｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｒａｎｇｅｏｆａｎｇｌｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｃａｎｂｅｕｐｔｏ ±１０°，ｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｃａｎｒｅａｃｈ±０００５°，ａｎｄｔｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｆｒｅｑｕｅｎｃｙｃａｎｂｅｕｐｔｏ２０００ＨｚＴｈｉｓｍｅｔｈｏｄａｄｏｐｔｓ ｎｏｎｃｏｎｔａｃｔｏｐｔｉｃａｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄ，ａｎｄｉｔｈａｓｎｏｄａｍａｇｅｔｏｔｈｅｍｅａｓｕｒ